ME-Mapping 스펙트럼 타원형

1. 개요

ME-매핑스펙트럼 타원형 기기는 맞춤형 Mapping 제도화 측정 스펙트럼 타원형 기기로, 전자동 Mapping 측정 모듈을 구성하여 타원형 매개변수, 투과/반사율 등 매개변수의 측정을 통해 박막의 전체 기판 필름 두께 및 광학 매개변수의 맞춤형 제도화 측정 표징과 분석을 빠르게 실현한다.

■전체 기판 타원형 제도화 측정 솔루션;

■ 제품 설계 및 기능 모듈 맞춤화, 원클릭 그리기 측정 지원;

■ Mapping 모듈을 구성하여 전체 기판 사용자 정의 다중 위치 측정 능력;

■ 강력한 데이터 분석 능력을 보장하는 풍부한 데이터베이스와 기하학적 구조 모델 라이브러리.

2. 제품 특징

■듀테륨등과 할로겐등의 복합광원을 채용하여 스펙트럼이 자외선에서 근적외선까지의 범위 (193-2500nm) 를 덮는다.

■고정밀 회전 보상기 변조, PCRSA 구성으로 Psi/Delta 스펙트럼 데이터의 고속 수집을 실현한다;

■전체 기판 사용자 정의 다점 자동 위치 측정 능력을 갖추고 전면적인 필름 두께 검측 분석 보고서를 제공한다;

■수백 종의 재료 데이터베이스, 다양한 알고리즘 모델 라이브러리는 현재 대부분의 광전 재료를 포함한다.

3. 제품 응용

ME-Mapping은 OLED, LED, 태양광, 집적회로 등 공업응용에 널리 응용되여 큰 사이즈의 전기편막두께, 광학상수 및 막두께분포의 쾌속적인 측정과 표징을 실현한다.

옵션 액세서리

기술 매개변수