IRE-200 필름 두께 측정기

1. 개요

IRE-200은광학 박막 두께 측정기초고정밀도의 외연층 두께 측정 장비로 적외선 스펙트럼을 이용하여 푸리엽 변환을 통해 빠른 분석을 진행하며, 주로 Si, GaAs, InP, SiC, GaN 등 각종 외연편의 외연층 두께 측정에 응용된다.

■단일 / 이중 및 다중 모드 선택 지원

■ 맞춤형 mapping 기능;

■ 높은 검출 속도: Si 표준 외연 필름 측정 25 포인트 ≤ 3min;

■ 높은 검사 정밀도: ≤ 0.01um.

2. 제품 특징

1) 설비는 고성능 광원 모듈을 사용하여 광원 안정성이 좋고 신호 잡음비가 높으며 커버리지는 7800-350cm이다^-1。

2) 자체 개발 알고리즘 소프트웨어와 함께 측정 결과를 정확하고 빠르게 얻을 수 있다.

3) 자체 개발한 mapping 운동대와 함께 위치가 정확하고 측정 속도가 빠르다.

3. 제품 응용

IRE-200은 반도체 업계에서 Si, SiC, GaAs, InP, GaN 등 기저소재의 상외연층 두께를 측정하는 데 널리 활용된다.

SiC EPI 측정 사례

기술 매개변수