SP-AM-400A 4호 소스 용광로

이 장비는 온도 25 ℃ ± 15 ℃, 습도 55% Rh ± 10% Rh에서 사용해야 합니다.

1. 물: 설비에 자체순환냉각수기(정제수 또는 이온제거수 주입)

2. 전기: AC380V 50Hz, 반드시 좋은 접지가 있어야 한다

3. 가스: 설비 챔버 실내에 아르곤 가스 (순도 99.99% 이상) 를 충전해야 하며, 자체 아르곤 가스 실린더 (자체 Ø6mm 듀얼 카드 커버 커넥터 포함) 및 감압 밸브가 있어야 한다

4. 작업대: 착지식, 설비 설치 면적 2.5M × 1M

5. 통풍 장치: 필요

1. 설비 극한 진공: 8 × 10-4 Pa

2. 장치 전력: <60kw

3. 설비 작업 압력: -0.5MPa

4. 시스템 진공 누출률: 5.0 × 10-7 Pa.l/S

5. 추출 속도: 대기에서 7 × 10-3Pa ≤ 30min로 추출한다.

6. 진공도 유지: 12시간 정지 후 진공실의 진공도는 10Pa 이상이어야 한다

7, 요구에 따라 몰드를 사용자 정의할 수 있음(150 범위 내)

8, 샘플대 회전 속도: 1~20회전/분 연속 조정 가능

설비의 안전한 사용을 보장하기 위하여 시스템 검측과 보호 기능을 배치한다. 예를 들면 물 부족 압력 검측과 보호, 강전 서열 검측과 보호, 온도 검측과 보호, 진공 시스템 검측과 보호 등이다.

① 충전재 완성 후 설비 전원 스위치 켜고 도가니 회전속도 조정(1~20회전)

② 진공 펌프 세트를 조작하여 10-4Pa까지 진공을 뽑고, 수동 베젤 밸브를 닫고, 수동 밸브를 열어 -0.03MPa까지 충전하고,

③ 용접기 켜기, 아르곤 아크 용접기 전류 조정, 아크 켜기 버튼 누르기

9, 정련 온도: Max 최대 3500 °C

1

주 진공실

1대

Φ300´370

2

스탠드

1대

640´640´760

3

진공 획득 모듈

1세트

비약 VRD16 기계식 펌프/FF-160/620 복합 분자 펌프

4

회전 정련 도가니 (흡주 도가니와 둘 중 하나)

1세트

1개 작업장 150´15

5

흡주 도가니 (회전 정련과 둘 중 하나)

1세트

주문형 맞춤형(표준≥8X70)

6

승강수 냉전극

4개

6mm 텅스텐 핀

7

관찰창 샘플링 도어

1개

300(위쪽 뚜껑)

8

수동 1/4 케이스 핀 밸브

2개

9

아르곤 아크 용접기

4대

WSM-630은

10

고진공 수동 베젤 밸브

1대

GD-J63B (LF)

11

순환식 수냉기

1대

KJ (CW) -6200

12

압력계

1대

-0.1~0.15Mpa