회전 로터 진공계

DosiTorr는

깨끗하고 내구성이 뛰어나며 부식에 강한 고진공 압력 측정 방안

핵심 이점:

• 대부분의 이온화 게이지를 직접 교체 가능 (1: 1 호환)

• 자주적 업무의회전 로터 진공계（SRG）

• 전송 표준 수준 정밀도

• 측정 범위: 10 mbar ~ 5 × 10 ⁻⁷mbar

• 100% 선형 출력

• '제로'드리프트 (<1.5%/년)

• 부식 방지 및 퇴적 방지

• 교체 가능 센서

• 깔끔한 무균 설계

• 진공 캐비닛 내 무전자 소자

• 장비 수명 설계

• 24VDC 전원 공급

• 0-10VDC 구성 가능 출력

일반적인 애플리케이션:

• 고장난 이온화 게이지 교체

• 이온 주입, 건식 식각

• 온라인 진공 절연 모니터링

기술 노트

DosiTorr는회전 로터 진공계(SRG) 기술의 공정용 압력계.스테인리스강 구체가 전자기력을 통해 회전하는 심플한 디자인으로 필라니 게이지 (열전도) 나 이온화 게이지 (전리효과) 에 비해 측정된 매체에 영향을 주지 않아 고순도 공정 환경에 이상적이다.DosiTorr는 부식성 공정 환경에서도 퇴적 및 부식에 대한 SRG 센서의 천연 저항성 덕분에 장기간 안정적인 고정밀 측정을 유지할 수 있습니다.

SRG 기술 이점

SRG 기술의 높은 정밀도와 장기적인 안정성은 이온화 게이지 교정과 같은 진공계 교정 분야에서 수년간 검증되었습니다.오늘날 이 기술은 자체 공정 센서로 구현됩니다.

• 초고정밀도: 0.1 mbar ~ 1 × 10 ⁻ ⁶ mbar 범위 내 판독 ± 1%

• 100% 선형 압력 판독 (기체 종류와 무관)

• 장기 안정성: 연간 드리프트 비율 <1.5%

• 스테인리스강 센서 부식 및 퇴적 방지

• 안전 청결 측정: 무오염/무열 복사/무전리 효과

고급 공정 적합 설계:

• 자기 차폐: 외부 자기장 간섭 방지

• 자기부상 시스템 강화: 측정 신뢰성 향상

• 내장형 온도 센서: 자동 온도 표백 보정

• 회전 속도 향상: 진동 민감도 감소

SRG 기술 원리

회전 로터 진공계(SRG) 가스 분자 흡착-탈착으로 인한 로터 감속 효과를 기반으로 감속 속도를 측정하여 진공 압력을 계산한다.시스템에는 다음과 같은 세 가지 구성 요소가 있습니다.

1. 센서 구성 요소

• 자성 스테인리스 스틸 볼 (센서 코어)

• 진공 시스템을 연결하는 튜브에 설치

2. 헤드 어셈블리 측정하기

• 전자기장을 통한 부상 / 가속 / 측정

• 외장형 진공 시스템

3. 전자 제어 장치

• 센서 제어 및 신호 처리

제품군

다양한 공정 요구 사항을 충족하기 위한 다양한 구성 시나리오: