나노 채널 원위치 렌즈 액체 가열 샘플 막대

덴마크 기술대학 Kristian Mlhave 교수로부터 유래한 Nano Channel 나노 채널 칩 기술은 10여년간의 개발을 거쳐 2022년 InsightChips사를 통해 상업화되었다. 혁명적인 혁신 덕분에 중복성 원자급 액체 원위 이미지를 구현할 수 있었고, 이 기술은 TEM, SEM, 광학 현미경 및 동시 방사선 사용에 널리 사용되었다.

전통적인 상하 칩 액체 솔루션에 비해, 이 기술은 압차 액면 팽창 문제가 없으며, 액면 두께를 5nm로 정확하게 제어할 수 있으며, SiN 관찰 창의 두께를 0nm로 제어하여 제자리 액체 원자급 해상도 영상을 효과적으로 보장할 수 있다.동시에 이 기술은 두 개의 칩을 반도체 공정을 직접 이용하여 결합함으로써 추가 청소 및 복잡한 누수 검사 과정이 필요 없다.

● 추가 칩 조립 및 누수 검사 불필요

● 정확한 액면 두께 제어 20nm 이하

● 무압차 액면 두께 팽창 문제

● 유속 및 정확한 액체 혼합 제어 제공

● SiN 관찰창 두께 10nm

● 조작이 간단하고 창이 고압에 강하며 신뢰성이 좋다