에이전트 로고솔 프리 조준기 광학 기기

에이전트 로고솔 프리 조준기 광학 기기

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미국 로고솔.사전 조준기반도체 제조 과정에서의 웨이퍼 사전 조준에 주로 사용되는 고도로 통합된 장비입니다.사전 조준기는 일반적으로 더 큰 설비나 시스템에 통합되어 있는데, 예를 들면 고무칠기, 포토레지스트, 박막 퇴적 설비와 각식 설비 등은 공정이 시작되기 전에 웨이퍼를 신속하고 정확하게 조준하는 데 사용된다.

주요 모델 및 기능

LOGOSOL 사전 조준기 시리즈에는 여러 모델이 포함되어 있으며 각 모델에는 다음과 같은 특정 응용 시나리오와 기술적 특성이 있습니다.

• ‌LPA26-3는: 작은 크기의 웨이퍼에 대한 고정밀 조준.

• ‌LPA38-3는: 중간 크기의 웨이퍼에 적용되는 효율적인 정렬.

• ‌LPA58-3는: 큰 크기의 웨이퍼에 대한 고정밀 조준.

• ‌LPA312-3는: 초대형 웨이퍼의 조준에 적용됩니다.

• ‌LPA812-3는: 특대 사이즈 웨이퍼의 고정밀 조준에 적용됩니다.

• ‌LPA1218-3는: 초대형 크기의 웨이퍼 조준에 적용됩니다.

이 사전 조준기는 45mm에서 480mm의 다양한 크기의 웨이퍼를 지원하며 다양한 공정 요구 사항에 적용됩니다.

기술적 특징 및 이점

LOGOSOL 사전 조준기의 기술적 특징은 다음과 같습니다.

• ‌고도의 통합: 공간을 절약하고 마스터 장치와 제어 시스템을 공유하여 원활한 도킹을 실현합니다.

• ‌고정밀: 고정밀 공정에 적용하여 웨이퍼 중심과 웨이퍼 방향의 정확한 조준을 확보한다.

• ‌다기능 제어 소프트웨어: 다양한 반도체 플랫폼과의 호환성과 인터페이스를 지원합니다.

• ‌신속한 포지셔닝: 고속 생산 라인에서 빠르고 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 실현한다.

에이전트 로고솔 프리 조준기 광학 기기

장면 적용

LOGOSOL 사전 조준기는 다음 반도체 장비에 널리 사용됩니다.

• : 광각 공정 전에 웨이퍼 중심과 웨이퍼 방향의 정확한 조준을 확보한다.

• ‌고무 현상 설비: 젤라틴을 바르고 현상하는 과정에서 웨이퍼 위치의 일치성을 확보한다.

• ‌박막 퇴적 설비: 퇴적 공정 전에 웨이퍼와 반응강체의 조준을 확보한다.

• ‌부식 설비: 각식 공정에서 웨이퍼의 위치와 각도의 정확한 조준을 보장한다.

LOGOSOL LPA38-3-3-V40P1-S23 웨이퍼 사전 조준기