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Logosol 에지 및 사전 조준기 순변대 광학 기기
장 매니저에게 문의: I872I868549
Logosol의 검증된 기술과 신뢰성 높은 표준은 광범위한 사전 조준기 시리즈의 기초입니다.Prealigners 제품 제품군은 투명도가 투명하지 않거나 투명하지 않은 45mm~480mm 범위의 물체를 처리할 수 있습니다.Logosol의 고유한 통합 설계와 다기능 제어 소프트웨어를 통해 다양한 반도체 플랫폼과 플러그 앤 플레이 호환성 및 인터페이스를 구현할 수 있습니다.
LOGOSOL 사전 조준기는 응용 시나리오에 따라 세 가지 큰 시리즈로 나뉩니다.
기술적 특징:
패시브 에지 접촉 기술,제로 기계 응력, 웨이퍼 손상을 피합니다.
투명도 지원불투명에서 전체 투명으로의 웨이퍼1。
적용 치수: 75mm – 300mm 웨이퍼.
일반 모델:LPA6EH-3는,LPA8EH-3는,LPA68EH-3는,LPA8ET-3는,LPA12ET-3는,LPA812EH-3는。
장면 적용: 탄화규소/질화갈륨 웨이퍼 제조, 고청정도가 요구되는 화합물 반도체 생산라인.
기술적 특징:
독립 실행형 처리사각형, 이중 기판 및 원형 웨이퍼, 45mm – 480mm 오버사이즈 범위를 지원합니다.
기계적 재배치 없이 소프트웨어를 통해 크기를 전환하여 유연한 생산성을 향상시킵니다.
LOGOSOL 일반 모델:LPA26-3는,LPA38-3는,LPA58-3는,LPA312-3는,LPA812-3는,LPA1218-3는。
장면 적용: 연구 개발 실험실, 다중 크기 웨이퍼 시험 생산 라인, 태양광 기판 포지셔닝.
Logosol 에지 및 사전 조준기 순변대 광학 기기
기술적 특징:
고속 웨이퍼 전송 시스템을 위해 최적화된 저비용 통합 센터 컴퓨팅 및 각도 포지셔닝 기능.
고정밀 옵션 및 맞춤형 클러치 크기를 제공하며 주류 산업 로봇과 호환됩니다.
LOGOSOL 일반 모델:LPA25-1E는,LPA38-1E는,LPA58-1E는,LPA312-1E는,LPA812-1E는,LPA1218-1E는。
장면 적용: 히타치 CD-SEM과 같은 반도체 측정 장비, 자동화된 웨이퍼 운반 시스템 개조