분말 원자층 퇴적 설비

하나,파우더 포복핵심 매개변수:

산지 유형: 국산 원자층 퇴적 시스템(ALD)

라이닝 크기: 100g-1000g 분말

공정온도: RT-300℃

전구체 수: 2조 반응 가스 8조 액체 또는 고체 반응 전구체

무게: 300kg

크기(WxHxD): 1150*1030*1850mm

균일성: 분말 표면에서 균일한 원자층 포복, 포복 균일성<3%

2. 원자층퇴적(Atomiclayerdeposition)은 기상전구체의 펄스를 반응강체 안으로 번갈아 통하게 하고 퇴적기체에 화학적으로 흡착해 반응함으로써 퇴적막을 형성하는 기술로 자한성과 자포화를 가지고 있다.원자층 퇴적 기술은 주로 각종 크기와 모양의 기저에 고정밀도, 바늘구멍이 없고 보형이 높은 나노박막을 퇴적하는 데 응용된다.

셋,파우더 포복제품 설명:

하문 궤무과학기술회사의 GM계렬자동분말 원자층 퇴적 설비이는 마이크로나노파우더에서 균일하게 통제할수 있는 원자층침적 또는 분자층침적성장을 실현할수 있으며 GM1000의 반응실은 자동적으로 ALD (원자층침적) 또는 MLD (분자층침적) 를 운행할수 있으며 설비에는 독립적으로 통제하는 300 ℃ 의 완전한 가열반응강실시스템이 갖추어져있어 공예온도가 균일하도록 보장한다.이 시스템은 분말 샘플통, 동적 분말 흐름 기구, 전자동 온도 제어, ALD 전구체 소스 강병, 자동 온도 제어 밸브, 산업급 안전 제어 및 현장 RGA, QCM, 오존 발생기, 장갑 상자 등의 설계 옵션을 갖추고 있다.* 에너지 소재, 촉매 소재, 신형 나노 소재 연구 및 응용에 가장 적합한 연구 개발 도구입니다.

4. 애프터서비스:

보증 기간: 1년

무상수리 기간 연장 가능 여부: 아니요

현장 기술 자문: 지원

무료 교육: 1. 설비가 출고되기 전에 최소 2명에게 일주일간의 설비원 공장 교육을 제공한다.2. 현장에서 설치 디버깅 완료

무료 기기 정비: 필요에 따라 안배할 수 있다

보증 내 수리 약속: 보증 기간 내 (천재지변과 인위적인 손해를 제외하고) 부품, 부품 비용, 출장 비용은 모두 당사가 부담합니다.

수리 약속: 품질 보증 기간 내에 고장이 발생하면 당사는 즉시 응답하고 8시간 내에 기술자를 현장에 파견하여 고장을 해결합니다.

5. 기술매개변수: