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이메일
wu.xiaoyu@ym-qbt.com
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전화
19906051395
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주소
하문시 집미구 집미북대로 1068-6호 안인산업단지
하문 궤무과학기술유한공사
개요
쌍강체 고진공 플라즈마 원자층 퇴적 시스템은 기상전구체 펄스를 반응강체 안으로 번갈아 넣고 퇴적 기체에 화학적으로 흡착해 반응함으로써 퇴적막을 형성하는 기술로 자한성과 자포화를 갖추고 있다.원자층 퇴적 기술은 주로 각종 크기와 모양의 기저에 고정밀도, 바늘구멍이 없고 보형이 높은 나노박막을 퇴적하는 데 응용된다.
제품 정보
1. 핵심 매개변수:
생산지 카테고리:국산 원자층 퇴적 시스템(ALD)
라이닝 사이즈: 6인치
공정온도: RT-300℃
전구체 수: 최대 3개의 플라즈마 반응 가스, 8개의 액체 또는 고체 반응 전구체 포함 가능
무게: 300kg
크기(WxHxD): 1400*1000*1900mm
균일성: 99%
2.원자층 퇴적(Atomiclayerdeposition)기상전구체 펄스를 반응강 체내로 번갈아 통하게 하고 퇴적기체에 화학적으로 흡착해 반응함으로써 퇴적막을 형성하는 기술로, 자한성과 자포화를 갖고 있다.원자층 퇴적 기술은 주로 각종 크기와 모양의 기저에 고정밀도, 바늘구멍이 없고 보형이 높은 나노박막을 퇴적하는 데 응용된다.
3. 제품 설명:
샤먼 마오과학기술회사의 쌍강체 고진공 플라즈마 원자층 퇴적 시스템 (QBT-T) 은 설비가 쌍강체 설계를 채택하여 강체 사이에 독립적인 통제를 실현할 수 있고 두 배로 생산할 수 있다.강체는 각각 PEALD 강실, 분말 ALD 강실이다.쌍강체 이중기능의 설계로 설비는 평편에서 플라즈마 ALD의 생장공정 및 분말 ALD 포복공정을 실현할 수 있으며 설비는 독립적으로 제어하는 300 ℃ 의 완전한 가열반응강실시스템을 갖추어 공정온도가 균일하도록 보장한다.이 시스템은 분말 샘플통, 웨이퍼 캐리어, 전자동 온도 제어, ALD 전구체 소스 강병, 자동 온도 제어 밸브, 산업급 안전 제어 및 현장 RGA, QCM, 오존 발생기, 장갑 상자, 극편 프레임 등의 설계 옵션을 갖추고 있다.* 에너지 소재, 촉매 소재, 신형 나노 소재, 반도체 분야 연구 및 응용을 위한 최고의 연구 개발 도구 중 하나입니다.
4. 샤먼마오과학기술유한공사는 당신에게 쌍강체 고진공 플라즈마 원자층 퇴적 시스템 QBT-T의 매개 변수, 가격, 모델, 원리 등 정보를 제공합니다. QBT-T의 산지는 푸젠, 브랜드는 마오, 모델은 QBT-T, 가격은 100만~200만 RMB입니다. 더 많은 관련 정보는 문의할 수 있습니다. 회사 고객센터 전화는 7 * 24시간 당신을 위해 서비스합니다.
5. 기술매개변수:
생산지 카테고리:국산 원자층 퇴적 시스템(ALD)
라이닝 사이즈: 6인치
공정온도: RT-300℃
전구체 수: 최대 3개의 플라즈마 반응 가스, 8개의 액체 또는 고체 반응 전구체 포함 가능
무게: 300kg
크기(WxHxD): 1400*1000*1900mm
균일성: 99%
2.원자층 퇴적(Atomiclayerdeposition)기상전구체 펄스를 반응강 체내로 번갈아 통하게 하고 퇴적기체에 화학적으로 흡착해 반응함으로써 퇴적막을 형성하는 기술로, 자한성과 자포화를 갖고 있다.원자층 퇴적 기술은 주로 각종 크기와 모양의 기저에 고정밀도, 바늘구멍이 없고 보형이 높은 나노박막을 퇴적하는 데 응용된다.
3. 제품 설명:
샤먼 마오과학기술회사의 쌍강체 고진공 플라즈마 원자층 퇴적 시스템 (QBT-T) 은 설비가 쌍강체 설계를 채택하여 강체 사이에 독립적인 통제를 실현할 수 있고 두 배로 생산할 수 있다.강체는 각각 PEALD 강실, 분말 ALD 강실이다.쌍강체 이중기능의 설계로 설비는 평편에서 플라즈마 ALD의 생장공정 및 분말 ALD 포복공정을 실현할 수 있으며 설비는 독립적으로 제어하는 300 ℃ 의 완전한 가열반응강실시스템을 갖추어 공정온도가 균일하도록 보장한다.이 시스템은 분말 샘플통, 웨이퍼 캐리어, 전자동 온도 제어, ALD 전구체 소스 강병, 자동 온도 제어 밸브, 산업급 안전 제어 및 현장 RGA, QCM, 오존 발생기, 장갑 상자, 극편 프레임 등의 설계 옵션을 갖추고 있다.* 에너지 소재, 촉매 소재, 신형 나노 소재, 반도체 분야 연구 및 응용을 위한 최고의 연구 개발 도구 중 하나입니다.
4. 샤먼마오과학기술유한공사는 당신에게 쌍강체 고진공 플라즈마 원자층 퇴적 시스템 QBT-T의 매개 변수, 가격, 모델, 원리 등 정보를 제공합니다. QBT-T의 산지는 푸젠, 브랜드는 마오, 모델은 QBT-T, 가격은 100만~200만 RMB입니다. 더 많은 관련 정보는 문의할 수 있습니다. 회사 고객센터 전화는 7 * 24시간 당신을 위해 서비스합니다.
5. 기술매개변수:
