플라즈마 강화 원자층 퇴적 PEALD

모델명: AT650P/850P(플라즈마 향상) AT650T/850T(핫)

AT650T / 850T사용자 현장에서 AT650P/850P로 업그레이드 가능

기술 매개 변수:

·소형 데스크탑 플라즈마 크기

·기체 온도가 400 ℃ 에 이르다

·공심 음극원을 가지고 있다

빠른 성장 속도

전자 집적도 향상

플라즈마 손상 감소

산소 오염 감소

·고주파 무선 주파수를 위한 빈 플라즈마 구성

·핫 ALD 비용으로 경제적인 플라즈마 시스템 제공

·유기금속원 3종(185도까지 가열 가능), 상온원 1개(185도까지 업그레이드 가능) 및 최대 4종산화제/환원제원

·고온에 강한 고속 펄스 ALD 밸브문,통합 불활성 가스 청소를 위한 초고속 MFC - 표준

·최대 6형 또는 8형 기판 및 맞춤형 카드 / 베이스

·정적 반응 모드에서 높은 오버레이 가능

가제공선택항목：

·맞춤형 카드 디스크 / 베이스

·QCM(돌영결정체미하늘평)

·병을 위한 거품기 설계

·로드 잠금 장치 (또는 장갑 상자 커넥터)

·공반응물선(MFC 제어)(최대 2개 추가)

·전구체 가열 파이프라인을 185 ℃ 로 추가 업그레이드,총 4개

맞춤형 시스템 컨설팅

고객 사례:

글로벌 100명 이상의 사용자, 중복 구매 사용자：

하버드 대학교

헬싱키 대학교 (Mikko Ritala 및 Matti Putkonen 교수）

범임그룹(LAM)3대 이상）

옥스퍼드 대학교 (2대 이상,세바스티안 보니야 교수）

국립재료과학연구소 (일본, 여러 대)

도쿄 대학 (여러 대)

와세다 대학 (여러 대)

노스웨스턴 대학교 (미국)

케임브리지 대학교 (영국)

라이스 대학

영국령 컬럼비아 대학교 (캐나다)

ENS-Paris(프랑스, 고등사범대학)

北京量子研究院

북경대학

브리스톨 대학교 (영국)

셰필드 대학교 등등

반복 구매 고객의 구체적인 활용:

1. 와세다 대학(Waseda University)(일본 도쿄) - 센서, 표면 변성, 나노 압인 광각, 우량 통공 제조(AIST) - 일본 이바라키현

2. 와세다 대학(Waseda University)(일본 도쿄) – 시스템 #2;유사 응용.일본 가나가와현 요코하마국립대학(Yokohama National University)

13. 국립재료과학연구소(NIMS) #1 (일본 이바라키 현) - 표면과 박막의 소리;원자척도 저차원 이격원학;나노 재료 중의 자전 궤도 분열

14. 국립재료과학연구소(NIMS) #2 (일본 이바라키현) - 탄소 나노튜브의 자선 관련 수송;나노 클리어런스 제조 및 분자 수송;그래핀의 틈새 공정;유기 트랜지스터

21. 프라이빗 컴퍼니(Private Company)(미국 오레곤주 포틀랜드)- TEM 샘플 제조;HfO2, Al2O3, Ta2O5

22. Precision TEM(미국 캘리포니아주 산타클라라) -TEM 샘플 제조;HfO2, Al2O3

43. 개인회사 TK(Private Company TK)(일본 미야기현) - TEM 샘플 제조

44. 프라이빗 컴퍼니 (Private Company) (미국 오레곤주 포틀랜드) - TEM 샘플 제조;HfO2, Al2O3, Ta2O5

45. 도쿄 대학(University of Tokyo) (일본) – 우수한 ALD 공정

93. 도쿄 대학(University of Tokyo) – 일본 도쿄 – Dr. Onaya

91. 범림그룹(LAM 연구) 미국 오레곤주 투와라틴(투알라틴어)

97. 범림그룹(LAM) 시스템 #2 – 미국 오레곤주 투와라틴

98. 범림그룹(LAM) 시스템 #3 – 미국 오레곤주 투와라틴

99. 옥스퍼드 대학(University of Oxford) – 영국 옥스퍼드 - Prof Sebastian Bonilla

100. 도쿠시마 대학(Tokushima University)(일본)

101. 헬싱키 대학교(University of Helsinki) (핀란드) Mikko Ritala 및 Matti Putkonen 교수

응용재료회사(AMAT - Applied Materials) - 미국

103. 옥스퍼드 대학(University of Oxford)(영국 옥스퍼드)