데스크톱 원자층 퇴적 시스템 ALD

모델:AT-200M(열원자층 퇴적 시스템)

시중에서 부피가 가장 작은 원자층 퇴적 시스템ALD는

과학 연구에 적합한 경제형 원자층 퇴적 시스템ALD는

경제적인 원자층 퇴적 시스템ALD는

가루의를 만들 수 있다원자층 퇴적 시스템ALD는

장갑 상자에 넣을 수 있는 원자층 퇴적 시스템ALD는

고진공 및 저산소 환경에서 사용하기에 적합

기술 매개 변수:

·자촌(L*W*H):35.5*38.1*56.8cm의

·분말 코팅 옵션 (최대 ~ 10cm ^3)

·2인치 x 2인치 x 3인치 또는 2인치 원판 2개 장착 가능샘플 (사용자 정의 가능한 카드 케이스 및 분말 코팅 옵션)

·2개 전드라이브몸단口，4개가선택단口(최대 150 ° ℃ 의 열 추적선, 180 ° C까지 HT 키트)

·속이 빈 음극 플라즈마로 업그레이드 가능 (옵션) 통풍 전구체 케이스

·고온에 강한 고속 펄스 ALD 밸브, 통합 불활성을 위한 초고속 MFC성기체 청소 - 표준

·스테인리스 스틸 챔버，온도 범위는 300 ° C에 달합니다.

·정적 반응 모드에서 높은 오버레이 가능

·통합 PLC 컨트롤이 포함된 5인치 디스플레이

·평생 소프트웨어 업그레이드 포함

·1연간 무상수리

옵션: 진공 펌프, 포트 4개, 오존 발생기(AT-03),병 히터,QCM,원격 PC 제어,ALD 전구체, 장갑 상자, HT 키트(전구체 ~180 ℃), 거품기, 분말 도료기, HC 플라즈마몸。

일반 사용자:

그ALD 컨퍼런스 위원회의 유명한 회원인 ALD 업계의 국제 전문가를 포함하여 전 세계에 ALD 장비 고객

존 배리, 덴니스 하우스먼, 미크코 리탈라，Anjana Devi는，스테이시 브렌트기다리다

그 중Mikko Ritala는매년 많이 발표해요.ALD의 글, 그는 ALD의 발원지, 헬싱키 대학에서 왔다

자세한 내용은 저희에게 문의하시면 됩니다.

우리의ALD 컨설팅 서비스

박막 퇴적 서비스

우리는 각양각색의 재료를 당신의 견본에 쌓을 수 있습니다.

프로세스 문제 해결 서비스

우리는 박막 및 나노 기술 공정, 공정 통합 및 부품 성능에 광범위한 기술 지원을 제공할 수 있습니다.수요가 있을 때 우리는 직원의 풍부한 경험, 깊이 있는 문헌 연구, 이론 모델링, 직접 실험에 근거하여 보고서와 건의를 제공할 것이다.

우리의 특기는 원자층 퇴적 기술이지만(ALD)，그러나 우리는 반도체 가공과 나노 기술 연구 및 개발의 범주에 속하는 여러 프로젝트에도 참여했습니다.

우리는 신생 기업을 위해 새로운 장비를 개발했으며 대학 실험실과 일부 대형 기업을 위해 새로운 재료를 개발했습니다.

시장 분석 및 기술 평가

우리는 관련 분야의 기업과 학계에 특정 원자층 퇴적 기술의 시장 응용 추세에 대한 심도 있는 분석을 제공할 수 있으며, 동시에 기존 및 신흥 원자층 퇴적 관련 과학의 연구와 개발 현황을 평가할 수 있다.