플라즈마 화학 기상 퇴적 시스템

PECVD는플라즈마 화학 기상 퇴적 시스템

1. 도금막을 깨끗이 씻어 단숨에 완성하여 2차 오염을 근절한다;

2. 상열식 구조로 시료를 쉽게 관찰할 수 있습니다.

3. 제품은 전자동 제어 방식, 터치스크린, 디지털 디스플레이를 채택한다;

4. 설비 일체화 정도가 높다;

5. 안정적인 무선 주파수 전원, 균일한 온도 분포, 성막 품질 향상;

제품 모델NBD-PECVD1200-80TI는

전기 규격AC220V 4KW의

최대 온도1200 ℃

연속 온도1150℃

최대 가열 속도 ≤ 20 ℃/분

무선 주파수 전원 공급 장치300또는500W 13.56MHz의

난로관 크기 Φ80*1200mm의

PECVD는플라즈마 화학 기상 퇴적 시스템

제어 시스템

1、NBD-101EP는내장형 운영 체제에서 영어 교환 그래픽 인터페이스,7인치 진채 터치스크린 입력, 지능식 휴먼 컴퓨터 대화 모드, 실시간 가열 전력 표시, 비선형 스타일 온도 수정;실험보고는 자주적으로 생성되고 실험데이터는 무한히 도출된다.

2, 실험 과정이 더욱 직관적이고 조작이 더욱 편리하다;3, 초온 경보, 단짝 알림, 누전 보호 등의 기능을 갖추고 있다.

온도 정밀도+/- 1℃

가열 소자모섞였어Fe Cr 알合金

밀봉 시스템

真空度：≤10Pa(기계 펌프)

압력 측정 및 모니터링은 디지털 진공계를 사용하여 장비의 진공도를 더욱 직관적으로 만들고 실험 결과를 더욱 정확하게 만들 수 있습니다.

가스 공급 시스템은 2방향 양성자 유량계를 사용하여 가스 유속을 정확하게 제어하고 설비와 하나로 통합한다;

순량360KG

장치 사용 고려 사항

1, 설비 용광로 온도 ≥300℃ 일 경우 난로를 여는 것을 금지하여 피해를 피한다;

2, 설비 사용 시, 난로관 내 압력 초과 불가0.125MPa의(절대 압력) 압력이 너무 커서 설비가 파손되는 것을 방지한다.

3, 진공에서 사용 시, 설비 사용 온도는 초과할 수 없다800℃。

4, 가스 공급 강철 병 내부 기압 이 비교적 높 고, 용광로 관 내 로 가스 가 통할 때, 가스 병 에 반드시 감압 밸브 를 설치 해야 하며, 선택 구매 시험용 소압력 감압 밸브 를 권장 한다. 감압 밸브 양정 은0.01MPa-0.15MPa,보다 정확하고 안전하게 사용할 수 있습니다.

5, 난로체의 온도가 높을 때1000℃ 일 때, 난로관 안은 진공 상태에 있을 수 없으며, 난로관 내의 기압은 대기압과 비슷하여 상압 상태를 유지해야 한다;

6, 고순도 석영관의 장시간 사용 온도 ≤1100℃

7, 가열하는 실험 시, 난로관 플랜지 끝의 공기 흡입 밸브와 공기 흡입 밸브를 닫고 사용하는 것을 권장하지 않는다.만약 밸브를 닫고 샘플을 가열해야 한다면, 항상 압력계의 표시수에 관심을 가져야 한다. 만약 절대압력계의 판독수가0.15MPa의, 예기치 않은 사고를 방지하기 위해 배기단 밸브를 즉시 열어야 합니다 (예: 노관 파열, 플랜지 비출 등)

서비스 지원1연간 품질 보증, 평생 지원 (보증 범위에는 노관 및 씰 등과 같은 소모성 부품이 포함되지 않음).