마스크 없는 광각기

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개요

마스크 없는 포토레지스트 _ UVD: 콤팩트한 데스크톱 마스크 없는 포토레지스트 시스템으로 디지털 마이크로 렌즈 기술로 고속 마스크 없는 그래픽 생성을 진행하여 최고 0.5μm의 최소 특징 크기를 실현할 수 있다.고정밀 실시간 초점 및 시각 대위 세트 기술을 장착하여 MEMS, 광자 부품, 양자 컴퓨팅 칩 및 센서 등 분야의 빠른 프로토타입 개발에 주로 응용된다.

제품 정보

디지털 투영 마스크 없는 포토레지스트 _UVD: 콤팩트한 데스크톱 무마스크 광각 시스템, 디지털 마이크로 렌즈 기술로 고속 무마스크 도형 생성, 최고 0.5μm의 최소 특징 사이즈를 실현할 수 있다.고정밀 실시간 초점 및 시각 대위 세트 기술을 장착하여 MEMS, 광자 부품, 양자 컴퓨팅 칩 및 센서 등 분야의 빠른 프로토타입 개발에 주로 응용된다.

마스크 없는 광각기_UVD성능 매개변수
헤더	50×	20×	10×	5×
최소 피쳐 크기(μm)	0.5	0.8	1	2.5
조잡도 (3σ, nm)	70	80	100	200
CD 균일성 (3σ, nm)	80	130	180	250
세트 정밀도 100 × 100mm²(nm)	500	500	800	1000
쓰기 속도 mm²/min	13	50	100	180
시스템 특징
라이트	405nm 또는 385nm 또는 365nm
기판 크기	최대 8인치
기판 두께	0.1mm ~ 8mm
최대 노출 영역	190×190mm²
온도 안정성	±0.1°
그레이스케일 레벨	1024
확장성	확장 이중 파장 광원 지원
주요 기능
스크립트화된 쓰기 모드	사용자 정의 가공 구조를 지원하는 스크립트화된 프로그래밍 인터페이스 제공
온라인 드로잉 머시닝 모드	실시간 온라인 드로잉을 지원하여 샘플의 실시간 화면에 임의의 그래픽을 그려 직접 가공
쓰기 및 슬라이스 소프트웨어	JPG, TIFF, GDS, DXF 등 다양한 형식 지원
실시간 자동 초점	광학 초점
자동 초점 범위	70μm
시스템 어셈블리
물경	5×，10×，20×，50×，100×
시스템 크기
가로 세로 높이	850mm × 940mm × 780mm
	850mm × 940mm × 1470mm
무게	250kg(본체 무게)
설치 기준
전기 조건	230VAC±5%, 50/60Hz, 10A
환경 온도	온도: 21±1도, 습도: 50~70%, 비응축
압축 공기	6-9bar, ±0.5bar
환경 조명	노란빛
청결 등급	만급 클린룸

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