자기 제어 사출 도금기 공장

하나,자기 제어 사출 도금기 공장핵심 매개변수:

가격대: 150만~200만대

기기 종류: 자기 제어 사출 도금기

생산지 종류: 국산

응용 분야: 마이크로 전자학

기본 크기: 4인치 (사용자 정의 가능)

표적: 탄탈럼

베이스 온도 범위: RT-900ºC

성막 두께 균일성: 기판 각식 균일성<3%

극한 진공: 극한 진공 UltimatePressure<3E-9Torr

2. 자기 제어 사출 기술 원리:

음극 표적의 표면 위에 직교 전자장을 형성하다.사출로 발생한 2차 전자가 음극위 강하 구역 내에서 고에너지 전자로 가속되면 양극으로 직접 날아가지 않고 정교 전자장 작용하에 왔다갔다하는 근사 진동선의 운동을 한다.고에너지 전자는 끊임없이 기체 분자와 충돌하고 후자에게 에너지를 이동하여 이온화되고 그 자체가 저에너지 전자로 변한다.이러한 저에너지 전자는 최종적으로 자력선을 따라 음극 부근의 보조 양극으로 표류하여 흡수되며, 고에너지 전자가 극판에 대한 강한 폭격을 피하고, 2급 사출 중극판이 폭격에 의해 가열되고 전자에 의해 투사되어 발생하는 손상을 제거하며, 자기 제어 사출 중극판의"저온"의 특징을 나타낸다.게다가 자기장의 존재로 인해 전자의 복잡한 운동은 이온화율을 증가시켜 고속 사출을 실현하였다.

셋,자기 제어 사출 도금기 공장기술적 특징:

성막속도가 높고 기판의 온도가 낮으며 막의 접착성이 좋아 대면적의 도금을 실현할 수 있다

4. 애프터서비스:

보증 기간: 1년

무상수리 기간 연장 가능 여부: 아니요

현장 기술 자문: 지원

무료 교육: 1. 설비가 출고되기 전에 최소 2명에게 일주일간의 설비원 공장 교육을 제공한다.2. 현장에서 설치 디버깅 완료

무료 기기 정비: 필요에 따라 안배할 수 있다

보증 내 수리 약속: 보증 기간 내 (천재지변과 인위적인 손해를 제외하고) 부품, 부품 비용, 출장 비용은 모두 당사가 부담합니다.

수리 약속: 품질 보증 기간 내에 고장이 발생할 때 우리 회사는 즉시 응답하고 8시간 내에 기술자를 현장에 파견하여 고장을 해결한다;

5. 기술매개변수:

6. 공예 전시: