KS Revolution RPS AX7690 원격 플라즈마 소스

KS Revolution RPS AX7690 원격 플라즈마 소스반도체 웨이퍼 가공에 필요한 고성능과 청정한 반응 가스원을 제공한다.혁신적인 R*evolution은'onwafer'애플리케이션을 위해 특별히 설계된 원격 플라즈마 소스 신규 제품군으로, 현장에서 검증된 MKS의 저장형 고리형 플라즈마 기술과 *의 플라즈마 가속기 설계를 결합하여 초청정 원자 중성 입자 또는 부수를 생성할 수 있다.

원자자유기는 많은 공정에서 매우 중요한데, 예를 들면 포토레지스트 제거, 웨이퍼 사전 세척 및 박막 질소화 및 산화이다.자유 기반은 일반적으로 플라즈마를 생성함으로써 생성됩니다.그러나 관련 대전체 입자는 때때로 환영받지 못한다.이러한 불이익을 피하기 위해 외부에서 플라즈마를 생성하고 자유 기반을 효과적으로 처리실로 보냅니다.

KS Revolution RPS AX7690 원격 플라즈마 소스반응 가스 발생기는 쿼츠 진공실, 무선 주파수 전원 공급 장치 및 필요한 모든 제어 장치를 하나의 컴팩트하고 독립적인 장치에 통합하여 쉽게도구의 처리실에 직접 설치합니다.그 결과 매우 깨끗한 원자 자유 기원을 얻어 웨이퍼에 필요한 반응을 일으키는 동시에 복잡성을 크게 줄였다.R*evolution 원격 플라즈마 소스는 최대 6kW의 플라즈마 출력을 제공하며, 공정에 높은 자유 기본 트래픽(최대 5slm)을 제공하여 기존 마이크로파 시스템보다 박리 또는 식각 속도가 두 배 빠릅니다.R*evolution 원격 플라즈마 소스는 효율성이 높고 비용이 적게 들기 때문에 전체 투자 및 도구 운영 비용을 크게 줄일 수 있습니다.또한 작은 크기와 단순한 디자인으로 설치, 운영 및 유지 보수가 간편합니다.