KS 무선 전원 공급 장치 RD5060Z 60MHz 2000W

KS 무선 전원 공급 장치 RD5060Z 60MHz 2000WRF 발전기현장 검증을 거친 신뢰할 수 있는 성능과 안정적인 출력 능력을 갖춘 우수한 무선 주파수 발생기이며, 실제 기계 검증에서 우수한 공정 안정성과 출력 제어 능력을 구현하였다.이 무선 주파수 전원은 무선 주파수 출력에 대한 정확한 제어를 실현할 수 있으며, 반도체 공정 사출에 널리 응용된다.CVD、PECVD、식각 등 공예에서 우수한 성과를 가지고 있다.RD5060Z 무선 주파수 전원은 우수한 필름 형성 능력을 가지고 있으며, 반도체 필름 공정에서 필름 형성 속도가 빠르고 효율이 높으며 품질이 좋은 장점을 가지고 있으며, 어느 정도 생산 라인 효율과 완제품 양률을 향상시킬 수 있으며, 매우 광범위한 응용을 가지고 있다.

KS 무선 전원 공급 장치 RD5060Z 60MHz 2000WRF 발전기매개변수 사양

장비 브랜드: MKS

장치 모델: RD5060Z

AC 전원 입력: 3 phase~, 480V, 15A

RF 무선 출력: DUAL 2.0KW, 60MHz

通讯接口：CEX In/Out, Profibus, EtherNet, Sync In/Out, 예약, RS-232C

장치 냉각: 수냉 냉각

장치 무게: 445kg, 98lbs