AE 무선 전원 공급 장치 RFG 3001 13.56MHz 3KW

AE 무선 전원 공급 장치 RFG 3001 13.56MHz 3KWRF 발전기오랜 기간 검증된 우수한 공정 안정성과 제어 능력을 갖춘 고성능 무선 주파수 전원으로 무선 주파수 출력에 대한 정확한 제어를 실현할 수 있으며 반도체 사출, 식각, CVD, PECVD 등 제조 공정에서 우수한 성과를 가지고 있다.AE RFG 시리즈 무선 주파수 전원은 우수한 공정 안정성과 무선 주파수 제어 능력을 갖추고 있어 무선 주파수 출력에 대한 정확한 제어를 실현할 수 있다.RFG 시리즈 무선 주파수 전원은 양호한 필름 형성 능력을 가지고 있으며, 필름 형성 속도가 빠르고 효율이 높으며, 반도체 제조 공정 필름 공정에서 광범위한 응용을 가지고 있으며, 어느 정도 생산 라인 효율과 제품 양률을 높일 수 있다.이 무선 주파수 전원 공급 장치는 전체적으로 컴팩트한 디자인으로 작고 편리하여 고객의 사용 비용을 절감할 수 있습니다.

AE 무선 전원 공급 장치 RFG 3001 13.56MHz 3KWRF 발전기매개변수 사양

장비 브랜드: AE(Advanced Energy)

장치 모델: RFG 3001

AC 전원 입력: 3 phase~, ~208V/PE, 50/60Hz

RF 무선 출력: 13.56MHz, 3000W, 387V~

통신 인터페이스: Control, CEX

장치 냉각: 수냉 냉각

수냉 입수 수요: MAX 입수 압력 6.9Bar/690kPa