MINI-X1-Y1-Z1 시리즈 6축 파이버 결합 플랫폼

협상 가능업데이트05/06

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개요

MINI-X1-Y1-Z1 시리즈 6축 광섬유 결합 플랫폼은 광섬유 결합 단계에 대한 전문적인 설계를 위해 혁신적으로 ART130 시리즈 큰 여정 운동대 (XYZ 축 여정은 고객 수요에 따라 맞춤형으로 제작할 수 있음) 를 기초로 3축 마이크로 정밀 조정 기구를 통합하여"대범위 조조 + 나노급 정조"일체화 조작을 실현하였으며, 각 축의 중복 위치 정밀도는 모두 #177;100nm 이내.제품은 절대다수 광통신모듈의 응용에 적응하여 정밀도가 높고 안정성이 높으며 성가비가 높은 산업화집적우세를 갖고있다.

제품 정보

MINI-X1-Y1-Z1 시리즈 6축 파이버 결합 플랫폼광섬유 결합 부분에 대한 전문적인 설계, 혁신적으로 ART130 시리즈 대형 스트로크 운동대(XYZ축 스트로크는 고객의 요구에 따라 맞춤 가능)에 3축 마이크로 정밀 조정 기구를 통합하여 실현"대범위 조조 + 나노급 정조"일체화 조작, 각 축의 중복 위치 정밀도는 모두 ± 100nm 이내에 도달할 수 있다.제품은 절대다수의 광통신모듈의 응용에 적응하여 정밀도가 높고 안정성이 높으며 성가비가 높은 산업화집적우세를 갖고있다.

기존의 압전 마이크로 데스크 조정 방안과 달리, 우리는 여전히 자체 연구 직선 모터와 교차 롤러 레일을 사용하는데, MINI 축의 미동 여정은 ± 1mm, 운동 정정 시간은 200 μm @ ± 50nm @ 30ms에 달한다.MINI-X1-Y1-Z1 시리즈 6축 파이버 결합 플랫폼높은 정밀도와 작은 부피, 더 가벼운 무게와 더 넓은 여정으로 빈번하고 빠르며 넓은 범위의 왕복 운동이 필요한 결합 장면에 더 적합합니다.

MINI XYZ 내부 안정성

MINI X축 정정 속도

MINI Y 축 정정 속도

MNI Z축 정정 속도

축 이름	X	Y	Z	미니-X	미니-Y	미니-Z
일정	60mm	60mm	35mm	1mm	1mm	1mm
전자 해상도	5nm
定位精度	±250nm	±250nm	±250nm	±200nm	±200nm	±200nm
반복 위치 정밀도	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm	±100nm
직선도	±1.5μm	±1.5μm	±2μm	N/A	N/A	N/A
평면도	±1.5μm	±1.5μm	±2μm	N/A	N/A	N/A
피치	10arcsec	10arcsec	10arcsec	N/A	N/A	N/A
Yaw는	10arcsec	10arcsec	10arcsec	N/A	N/A	N/A
최소 단계	50nm
포지셔닝 안정성	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm	±50nm
운동 정정 시간	/			200μm @±50nm@30ms	200μm @±50nm@30ms	200μm @±50nm@30ms
mini 축 부하 무게	500g
최대 속도	500mm/s	500mm/s	500mm/s	50mm/s	50mm/s	50mm/s
플랫폼 무게	10kg
플랫폼 재료	알루미늄
평균안정운동시간	27,000 시간

참고:

(1) 적합-AS 피드백, 선형 증폭기;

(2) 비어 있으므로 해당 출력의 증폭기를 구성해야 합니다.

(3) 기본 테스트 포인트 위치는 테이블 위 25mm입니다.

(4) 나머지 여정은 사용자 정의할 수 있습니다.

INI 축 매개변수

축 이름	미니-X	미니-Y	미니-Z
일정	1mm	1mm	1mm
전자 해상도	5nm
定位精度	±200nm	±200nm	±200nm
반복 위치 정밀도	±100nm	±100nm	±100nm
최소 단계	50nm
포지셔닝 안정성	±50nm	±50nm	±50nm
운동 정정 시간	200μm @ ±50nm@30ms	200μm @ ±50nm@30ms	200μm @ ±50nm@30ms
부하 무게	500g
최대 속도	20mm/s	20mm/s	20mm/s
지속 추력	8.4N
피크 추력	66.5N
플랫폼 무게	1.3kg의
플랫폼 재료	알루미늄
평균 안정 운동 시간	27,000 시간

참고:

(1) 적합-AS 피드백, 선형 증폭기;

(2) 비어 있으므로 해당 출력의 증폭기를 구성해야 합니다.

(3) 기본 테스트 포인트 위치는 테이블 위 25mm입니다.

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