공업형 원자력 현미경

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개요

산업형 원자력 현미경 (FM-Nanoview LS-AFM) 은 샘플 크기, 무게에 거의 제한이 없으며 웨이퍼, 초대형 래스터 및 광학 유리 등 큰 샘플 검사에 특히 적합하다.

제품 정보

제품 특징:

◆상업화 생산을 실현하는 큰 크기공업형 원자력 현미경

◆ 샘플 크기, 무게는 거의 제한되지 않으며 웨이퍼, 초대형 래스터 및 광학 유리 등 큰 샘플 검사에 특히 적합

◆ 샘플대 확장성 강해 다중기기 연용으로 제자리 검측 용이

◆ 원클릭 자동 스캔으로 여러 테스트 지점을 임의로 프로그래밍하여 빠른 자동화 테스트 가능

◆ 이미지를 스캔할 때 샘플이 움직이지 않고 프로브를 구동하여 진행XYZ 3D 이동 측정 이미지

◆ 용문 거치식 스캐너 헤드 디자인, 대리석 받침대, 진공 흡착식 적재대

◆ 일체형 기계 진동 충격 흡수 및 환경 소음 차단 솔루션으로 시스템 소음 수준을 크게 낮춘다

◆ 모터 자동 제어 가압전 세라믹 자동 탐지의 스마트 신속 진침 방식, 보호 프로브 및 샘플

◆ 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 나노 표징과 측정 정밀도보다 우수하다98%

기술 매개 변수:

작업 모드	접촉 모드, 가볍게 두드리기 모드	Z승강대	스텝 모터 구동 제어, 최소 스텝10nm
옵션 모드	마찰력/ 측면, 진폭 / 위상, 자력 / 정전기	Z승강일정	20mm(25mm 옵션)
스펙트럼 곡선	F-Z 힘 커브, RMS-Z 커브	옵티컬 포지셔닝	10X 옵티컬 미러
XYZ는스캔 방법	프로브 구동식XYZ 스캔	카메라	5메가픽셀 디지털 CMOS
XY는스캔 범위	보다 큼100um × 100um	스캔 속도	0.6Hz ~ 30Hz
Z스캔 범위	보다 큼10um	스캔 각도	0~360°
스캔 해상도	가로0.2nm，세로 0.05nm	운영 환경	Windows 10 운영 체제
XY는견본대	스텝 모터 구동 제어, 이동 정밀도1um	통신 인터페이스	USB2.0/3.0의
XY는이동 스케줄	200 × 200mm(300 × 300mm 옵션)	기기구조	용문 랙 스캐너 헤드, 대리석 베이스
샘플 적재대	직경200mm(300mm 옵션)	충격 흡수 방식	공기 부양식 충격 흡수+ 방음 차폐 덮개 (액티브 충격 흡수대 옵션)
샘플 무게	≤20Kg의

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