환경 제어형 원자력 현미경

◆광학 현미경과 원자력 현미경의 영상 기능을 동시에 갖추고 있어, 양자는 동시에 작업할 수 있고, 서로 영향을 주지 않는다.

◆일반 공기 환경, 액체 환경, 온도 제어 환경, 불활성 가스 제어 환경에서 동시에 작동 가능

◆샘플 스캐너와 레이저 검사 헤드 폐쇄형 설계, 내부에 특수 기체를 충전할 수 있으며, 밀봉 덮개를 추가할 필요가 없다

◆레이저 검사는 수직 광로 설계를 채택하였으며, 기액 양용형 탐침대와 함께 액체 아래에서 작업할 수 있다

◆단일 축 구동 샘플은 자동으로 수직으로 프로브에 접근하여 샘플 스캔에 바늘 끝이 수직이 되도록 합니다

◆모터 제어 가압 전기 세라믹 자동 탐지의 스마트 핀 흡입 방식, 보호 핀 및 샘플

◆초고배율 광학 포지셔닝 시스템으로 프로브 및 샘플 스캔 영역의 정확한 위치 확인

◆내장형 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 나노 표식 및 측정 정밀도98%

기술 매개 변수: