고해상도 현미경 타원형

전통적인 타원형 기기와는 달리, 이것은 차세대 현미경 영상 타원형 기기의 기술로, 유기적으로 결합되었다기존 스펙트럼 타원형 및 광학 현미경기술은 우리가 소규모로1µm의 미세 구조위에 타원형의 민감도로 박막의 두께와 굴절률을 나타낸다.현미경 부분은 동시에 측정할 수 있다광학 시스템 전체 시야 범위 내의 모든 구조。

전통적인 타원형 기기는 전체 반점을 측정하는 데 중점을 두지만 고정밀도의 가로 해상도를 실현할 수 없으며 점별로 측정해야 한다.이 장치의 현미경 기능으로 우리는 미시적 구조를 얻을 수 있다의타원형 강화 대비 이미지，카메라의 실시간 이미지에서 굴절률 또는 두께의 작은 변화를 볼 수 있습니다.두께(0.1nm-10µm)와 굴절률 값을 얻기 위해 타원형 측정의 관심 영역(선택 영역 측정)을 식별할 수 있습니다.

당신은 이 기구를원 ⼦⼒ 현미경 (AFM), ⽯영 결정 마이크로 스카이 (QCM-D), 반사 분광기, 라만 분광기기타 기술이 결합되어 샘플에서 더 많은 정보를 얻을 수 있습니다.

이 제품은 모듈식 장비로 사용자의 방향에 따라 차별화된 구성이 가능합니다.이 기기는 표준 레이저를 장착하여 브루스터 캐릭터 현미경을 만들 수 있으며, 일반적으로 단분 LB 필름을 조립하는 연구에 사용된다.

시장에최대 가로 타원형 해상도의타원형: 분별 가능1µm의 미소 영역, 이 특성은 미세 구조 시료와 미소 시료의 타원형 분석을 실현할 수 있다.

♦ 실시간 타원형 대비도 이미지는 샘플 표면, 각종 결함 또는 구조의 신속한 이미지 분석을 제공한다.

√ 선택 영역 분석 기술영역화(ROI)를 위한 편향 이미지 분석평행 분석 기술은 여러 영역을 동시에 분석합니다.

♦190nm~1700nm 파장 범위의 스펙트럼 현미경 편향기는 비교적 넓은 파장 범위 내에서 샘플의 현미경 타원형 분석을 제공할 수 있다.

♦가시광선 파장 범위에서 선택할 수 있는 전체 화폭 초점 기술 (UltraObiective) 은 자체 조립 단분자층의 성장과 이동, 단백질 상호작용과 수면 단분자층의 표류 측정 등 동적 샘플에 적용된다.

√ 반점 절단기술, 초박형 투명 기저에 박막을 구현하는백그라운드 반사 없음타원형 테스트.

다양한 기능 확장 부속품은 현미경 타원형 기술이 서로 다른 응용 분야 내의 다양한 실용 기능을 실현한다. 예를 들어 표면 플라즈마 공진 (SPR), 고/액 인터페이스 분석 단위, 광도액/액 인터페이스 분석 단위, 마이크로 흐름 제어 분석 단위, 온도 제어 단위와 전기화 학점 분석 단위 등이다.

♦ 현미경 타원형 분석 통합 플랫폼으로 다양한 측정 기술의 연결을 실현하여 귀하의 샘플에서 더 많은 정보를 얻을 수 있습니다.

타원형 기술은 박막의 반사 광속을 측정하여편광 상태의 변화, 측정 된 박막의 성질 파라미터를 분석하고 얻으며, 박막 두께와 같은 파라미터 값은 탐지 된 빛의 파장보다 더 작습니다.

박막의 성질(예를 들어 박막의 두께, 굴절률과 흡수계수 등)은 반사광속 p분량과 s분량의 진폭과 위상의 변화와 관련이 있다。계측기 편광 부품이 회전함에 따라 타원형 계측기는 반사 빔의 진폭과 위상의 변화를 분석하여 측정하는데, 측정 데이터는 타원형 Psi와 Delta 매개변수 값이다.이 수치를 컴퓨터에 입력하고 시뮬레이션 소프트웨어를 통해 모델링 분석을 통해 박막 두께, 굴절률, 흡수 계수와 같은 박막 성질 파라미터를 얻는다.기타 박막성질, 례를 들면 막층구조, 결정성질, 화학성분 또는 전도성질 등은 진일보 분석을 통해 얻을수 있다.타원형 편법은 이미 측정이 되었다다층 박막 두께, 굴절률 및 흡수 계수표준 테스트 방법입니다.

현미경 타원형 기술이 유기적으로 결합되었다소광 타원형 기술과 전통적인 현미경기술, 현미경 기술을 결합하여 측정된 샘플을시각화 실시간 이미지 타원형 분석,가로(X/Y 방향) 해상도 1µm 이상。

현미경 타원형 기술의 최소 테스트 마이크로존은 전통적인 미광반 타원형법의 1000분의 1이 더 작아서 실현할 수 있다비균등 박막 시료의 지역화타원형 분석.선택 영역 분석 기술은 지역화된 타원형 분석 테스트를 실현한다.평행화 분석 기술을 사용하면 여러 영역을 동시에 분석할 수 있습니다.통과실시간 비디오 이미지분석, 현미경 타원형 기술은 많은 것을 실현할 수 있다원래의 테이블 인터페이스 분석적용예를 들어, 현미경 타원형 기술은 샘플의 가로 구조 크기가 1 um-50 mm 범위의 박막 테이블 인터페이스 분석에 적용됩니다: 도안화된 미소 샘플과 마이크로 현수막 빔 센서의 박막.최신 반점 절단 기술을 채택하면 투명 기저 위 박막의 등바닥 반사 방해가 없는 타원형 테스트를 실현할 수 있다.

비현미경 타원형 기기의 가로 해상도는 샘플 표면을 비추는반점 지름결정.반점의 직경은 35um에서 2mm까지 다양하다.감지 시스템은 전체 반사 빔의 타원형 상태를 탐지합니다.반점 범위 내의 모든 구조는 타원형 분석을 평준화한다.. 이 크기보다 작은 미세 구조의 모든 샘플은 정확하게 검사 분석되지 않습니다.샘플이 균일한 필름이 아니라면 평준화 분석 테스트에서 잘못된 데이터를 얻을 수 있습니다.

현미경 타원형 기술 통과고수치 공경의 물경이 샘플을 영상화하다, 고해상도 2D 픽셀 검출기 어레이에서메가픽셀 구현의 이미징1마이크로미터 이하의 해상도를 제공합니다.，세부 해상도 및 파장 상관 관계。

이 장치는모듈식 소프트웨어. 독립적인 소프트웨어 모듈은 기기 조작을 간소화하고 기기의 원격 제어 측정, 데이터 획득 및 병렬 또는 오프라인 데이터 분석을 실현한다.

장치 Control 기기 조작 소프트웨어 관리 조작 현미경 편향기 설비 시스템의 운행.

대화형 및 사용이 간편한 제어 소프트웨어 및 자동화 도구입니다.

Server 소프트웨어 관리는 다양한 액세서리 및 연결 시스템의 매개변수 설정 및 데이터 등 현미경 타원형 장치 측정 프로세스의 모든 설정 및 데이터를 기록합니다.이 모듈은 다양한 복잡한 샘플을 쉽게 분석하고 측정할 수 있는 * 데이터 저장 및 분석 모듈입니다.

각종 부속품과 연결 시스템의 매개 변수와 측정 데이터를 포함한 모든 관련 매개 변수와 데이터를 관리하고 저장한다.

관리 데이터 스토리지 아키텍처 구축 (용이한 아키텍처)

√ 이미지 처리 기능 포함: 배경 보정(⾃動), ⿊균형 보정, ⼏무엇 보정, 신호 추적(전체 밝기 보정), 기본 테스트 저장소 및 기타 기능.

조작기기(이동부품의 제어, 촬영영상, 집적측량, 과정동화...)

모든 데이터 처리 (이미지, 측정 결과, 동학 테스트, 구조 설명 등).

계기에만 의존하여 오프라인 데이터 분석 처리를 실현한다.

♦ 특수 기능 (예):

1. 대량 처리: 타원형 데이터 Delta/Psi를 계산하고 동변환을 두께 분포도 (화소점별로 분석), 동등한 백그라운드 보정.

2. 모든 이미지, 측정 데이터 및 매개변수 정보가 실시간으로 연속적으로 저장됩니다.

♦ 산함수 분석과 측정 데이터를 계량하도록 한다.

♦ 복잡한 박막 시스템의 모델링 및 선택한 모델의 합성 측정 데이터.

모델의 모든 매개변수 효과를 따르는 시뮬레이션

각방향 이성 재료의 굴절률 (단축, 쌍축) 과 광축 방향의 모델링 (귀화 뮬러 행렬의 11개 요소를 기반으로 함).

측정 요구 사항에 최적화된 구성을 선택할 수 있는 현미경 타원형 기기입니다.