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벽파로 690호 장강 마이크로전자항 7호 건물 7층
사공과학기기(상해)유한공사
개요
체이스 크로스빔은 필드 발사 스캔 전자현미경(FE-SEM) 렌즈의 강력한 이미징과 분석 성능과 차세대 초점이온빔(FIB)의 우수한 가공능력을 결합했다.Crossbeam 시리즈는 절단, 이미징 또는 3D 분석을 통해 애플리케이션 경험을 크게 향상시킬 수 있습니다.
제품 정보
높은 트래픽을 위한 설계3D분석 및 샘플 제조 맞춤형FIB-SEM은
체이스 크로스빔은 필드 발사 스캔 전자현미경(FE-SEM) 렌즈의 강력한 이미징과 분석 성능과 차세대 초점이온빔(FIB)의 우수한 가공능력을 결합했다.Crossbeam 시리즈는 절단, 이미징 또는 3D 분석을 통해 애플리케이션 경험을 크게 향상시킬 수 있습니다.Gemini 전자 광학 시스템을 사용하면 스캔 전자 현미경(SEM) 이미지에서 실제 샘플 정보를 얻을 수 있습니다.Ion-sculptor FIB 경통은 새로운 FIB 가공 방법을 도입하여 샘플 손상을 줄이고 샘플 품질을 향상시켜 실험을 가속화 할 수 있습니다.
과학 연구 기관이나 산업 실험실, 단일 사용자 실험실 또는 다중 사용자 실험 플랫폼에 사용되든, 만약 당신이 고품질, 높은 영향력의 실험 결과를 얻고자 한다면, 차이스 Crossbeam의 모듈식 플랫폼 설계는 당신이 자신의 수요의 변화에 따라 언제든지 기기 시스템을 업그레이드할 수 있도록 할 수 있습니다.
기술 매개 변수:
체이스 Crossbeam 350 |
체이스 Crossbeam 550 |
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전자현미경(SEM) 스캔 |
Gemini I 렌즈 |
Gemini II 렌즈 |
가변 기압 옵션 |
옵션 Tandem decel |
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전자빔 스트림: 5pA – 100nA |
전자빔 스트림: 10pA – 100nA |
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초점 이온 빔 |
해상도: 3 nm @ 30 kV(통계적 방법) |
해상도: 3 nm @ 30 kV(통계적 방법) |
해상도: 120 nm @ 1 kV & 10 pA(옵션) |
해상도: 120 nm @ 1 kV & 10 pA |
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탐지기 |
Inlens SE, Inlens EsB, VPSE(가변 압력 2차 전자 탐지기), SESI(2차 전자 2차 이온 탐지기), aSTEM(스캔 투사 전자 탐지기), aBSD(백산사 탐지기) |
Inlens SE, Inlens EsB, ETD(Everhard-Thornley 탐지기), SESI(2차 전자 2차 이온 탐지기), aSTEM(스캔 투사 전자 탐지기), aBSD(백산사 탐지기) 및 CL(음극 형광 탐지기) |
샘플 창고 사양 및 포트 |
표준 샘플 창고는 18개의 구성 가능한 인터페이스를 갖추고 있다 |
표준 샘플 창고에는 18개의 구성 가능 인터페이스 / 대형 샘플 창고에는 22개의 구성 가능 인터페이스 |
적재대 |
X / Y = 100 mm |
X/Y = 100 mm / X/Y = 153 mm |
Z = 50 mm, Z' = 13 mm |
Z = 50 mm, Z' = 13 mm / Z = 50 mm, Z' = 20 mm |
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T = -4°~70°, R = 360° |
T = -4°~70°, R = 360°/T = -15°~70°, R = 360° |
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전하 제어 |
전자빔총 |
전자빔총 |
국부 전하 중화기 |
국부 전하 중화기 |
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가변 압력 |
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가스 |
단일 채널 가스 주입 시스템: Pt, C, SiOx, W, H2O |
단일 채널 가스 주입 시스템: Pt, C, SiOx, W, H2O |
다중 채널 가스 주입 시스템: Pt, C, W, Au, H2O, SiOX, XeF2 |
다중 채널 가스 주입 시스템: Pt, C, W, Au, H2O, SiOX, XeF2 |
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스토리지 해상도 |
32k×24k(옵션으로 제공되는 ATLAS 5 3D 단층 스캐닝 모듈을 사용하여 최대 50k×40k) |
32k×24k(옵션으로 제공되는 ATLAS 5 3D 단층 스캐닝 모듈을 사용하여 최대 50k×40k) |
옵션 분석 첨부 |
EDS、EBSD、WDS、SIMS，필요한 경우 추가 옵션 제공 |
EDS、EBSD、WDS、SIMS，필요한 경우 추가 옵션 제공 |
이점 |
가변 압력 모드 및 광범위한 제자리 실험으로 시료 호환성을 대폭 확대할 수 있다. |
다양한 조건에서 고해상도의 분석 및 이미징을 원활하게 수행할 수 있습니다. |
