FluxDancer E900 반도체 매개변수 분석기

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개요

FluxDancer E900 반도체 매개변수 분석기는 반도체 부품의 전기적 특성을 측정하고 분석하기 위해 설계된 Oriental Spectra의 정교한 고정밀 테스트 장비입니다.이 기기는 전원, 전압계, 전류계, LCR 계량기, 스위치 매트릭스 등 많은 첨단 측정 기술을 융합하여 전류-전압 (IV) 과 용량-전압 (CV) 측정, 고속 펄스 IV 측정 등 다양한 테스트를 수행할 수 있도록 했다.

제품 정보

FluxDancer E900 반도체 매개변수 분석기소개:

FluxDancer 반도체 파라미터 분석기는 반도체 부품의 전기적 특성을 측정하고 분석하기 위해 설계된 Oriental Spectra의 정교한 고정밀 테스트 장비입니다.이 기기는 전원, 전압계, 전류계, LCR 계량기, 스위치 매트릭스 등 많은 첨단 측정 기술을 융합하여 전류-전압 (IV) 과 용량-전압 (CV) 측정, 고속 펄스 IV 측정 등 다양한 테스트를 수행할 수 있도록 했다.

FluxDancer의 장점은 테스트 정밀도와 해상도에 대한 추구입니다.정확한 IV 및 CV 표징을 제공할 수 있을 뿐만 아니라 반도체 개발, 공정 공정 개발, 부품 신뢰성 테스트, 광전 부품 테스트 등 분야에 널리 응용된다.FluxDancer의 통합 설계는 기존의 다중 기기 조합보다 더 높은 측정 정밀도와 해상도를 보장합니다.

주요 사양 매개 변수:

□ 전류-전압(IV), 용량-전압(CV), 펄스 IV 테스트 등 전반적인 기능;

□ 전류 측정 해상도 zui 높이 0.1fA, 측정 정밀도 30fA;

□ IV-t 테스트 모드, zui 빠른 샘플링 확률은 65us/점 이상이어야 한다;

□ 펄스 모드에서 최단 펄스 폭을 10ns로 지원합니다.

□ 테스트 기능: IV, IV-t, PIV(펄스 IV), Super-PIV(10ns sampling) CV, 임피던스, 1/f(100KHz), Super-1/f(1MHz), Solar cell, FET, BJT, EL 등.

□ 고정밀도와 고해상도의 측정능력;

□ 빠른 측정과 분석으로 다양한 측정 모드를 지원한다.

□ 모듈식 설계로 업그레이드와 확장이 용이하다: Zui가 4A까지 전류를 크게 흡수할 수 있도록 10개의 슬롯을 구성한다;

□ 적용 부품, 소재, 유원/무원 부품 등 유형의 전자부품;

□ 직관적인 사용자 인터페이스로 조작 절차를 간소화한다;

□ 자동화된 테스트와 데이터 분석을 지원한다.

Ⅰ - Ⅴ 소스 측정 유닛(SMU)

고출력 SMU:

전압 범위: ±100V-200V
직류 전류 범위: ± 1A
펄스 전류 범위: ±2A±3A
최소 전류 해상도: 0.1fA
최소 전압 해상도: 100nV
전류 측정 범위: 10fA
전압 측정 범위 해상도: 0.5uV
DC 전력: 20W 또는 40W 옵션
zui 대펄스 전력: 480W(zui 대전압 160V, zui 대전류 3A)
펄스 한계 최소 너비: 50us, 50us 펄스 테스트 출력가능
쿼드 사분면 테스트 지원
2선 또는 4선 테스트 지원
IV-T 테스트 모드 지원, zui 빠른 샘플링 속도 550ns 점당 데이터 저장 지점은 10K, 1M, 10M 또는 100M으로 설정 가능

중간 전력 DC SMU:

전압 범위: ±40-±50V
전류 범위: ±1.5A
최소 전류 해상도: 400pA
최소 전압 해상도: 4uV
전류 측정 해상도: 10fA
전압 측정 해상도: 0.5uV
쿼드 사분면 테스트 지원
2선 또는 4선 테스트 지원

소전력 DC SMU:

전압 범위: ±14V
전류 범위: ±40mA
최소 전류 해상도: 200nA
최소 전압 해상도: 60 uV
전류 측정 해상도: 10fA
전압 측정 해상도: 0.5uV
쿼드 사분면 테스트 지원
2선 또는 4선 테스트 지원
지원 소스 테이블 수: 1-5 옵션
전면 확대: SMU 전류 측정 해상도를 0.1fA로 향상시키는 전면 확대 구성 가능

C-V 다중 주파수 커패시터 유닛(CVU)

AC 임피던스 측정은 CV, C-f, C-t
1kHz-10MHz 폭 범위, 최소 주파수 해상도 1mHz
커패시터 테스트 정밀도(매체 전력 손실 D): @1MHz±0.3%,10pF@1MHz±0.15%, 10pF@100kHz±0.2%
±30V(60Vpp), 내장 DC 오프셋 범위는 ±210V(420V 차)까지 확장 가능
CV, CV 자동 테스트 측정 기능
CV, C-t 커패시터 측정 스캐너 지원

펄스 I-V 초고속 펄스 측정 유닛(PMU)

2개의 독립형 고속 펄스 IV 소스 및 측정 채널
200 MSa/s, 5 ns 스플라인 간격
±40 V(80V p-p), ±800 mA
순식간 파형 캡처 모드
임의의 파형 발생기, 10ns 프로그래밍 가능 분별

고압 펄스 발생기 유닛(PGU)

고속 펄스 전압 소스 채널 2개
±40 V(80V p-p), ±800 mA
임의의 파형 발생기, 10ns 프로그래밍 가능한 해상도

Ⅰ - V /C-V 다중 채널 스위치 모듈(CVIV)

프로브를 들어올릴 필요 없이 IV 소스와 CV 사이를 전환합니다.
프로브를 들어올릴 필요 없이 리소스 CV 측정
±210V DC 오프셋 지원

1n 노이즈 테스트 모듈(FNU)

속도 8~10s/bias
대역폭 1Hz~100kHz
노이즈 베이스:<120uA@2Hz
전체 대역폭에서의 측정 편차 2%

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