FS-Pro 반도체 매개변수 테스트 시스템

FS-Pro 반도체 매개변수 테스트 시스템제품 소개

FS-Pro는반도체 파라미터 테스트 시스템은 기능이 전면적이고 구성이 유연한 반도체 부품의 전기학적 특성 분석 설비로, 한 시스템에서 전류 전압을 실현하였다.(IV)테스트, 커패시터 전압(이력서)테스트, 펄스IV테스트, 임의의 선형 파형 발생 및 측정, 고속 시역 신호 수집 및 저주파 소음 테스트 능력.거의 모든 반도체 부품의 저주파 특성 표징은FS-Pro는테스트 시스템에서 완료되었습니다.포괄적이고 *적인 매개변수 테스트 분석 능력은 반도체 부품 및 공정의 개발 및 평가 프로세스를 크게 가속화하고 개론과 9812 시리즈 노이즈 테스트 시스템이 원활하게 통합되어 빠르고DC는테스트 능력이 한층 더 향상되었다 9812 시리즈 제품의 소음 테스트 효율.

FS-Pro 반도체 매개변수 테스트 시스템기능이 전면적이고 배치가 신축성있는 반도체부품의 전기학특성분석설비이다.

• 하나의 시스템에서 전류 전압(IV) 테스트, 커패시터 전압(CV) 테스트, 펄스식 IV 테스트, 임의의 선형 파형 발생 및 측정, 고속 파형 발생 및 수집 및 저주파 소음 테스트 능력을 구현하여 거의 모든 반도체 부품의 저주파 특성 표징을 FS-Pro 테스트 시스템에서 완료할 수 있다.

• 포괄적이고 *적인 매개변수 테스트 분석 능력은 반도체 부품 및 공정의 개발 및 평가 프로세스를 크게 가속화하고 개론 9812 시리즈 노이즈 테스트 시스템과 원활하게 통합할 수 있습니다.

• 산업 공통의 PXI 모듈식 하드웨어 아키텍처를 사용하여 유연한 시스템 구성과 확장성을 제공합니다.

• 내장형 전문 테스트 소프트웨어 LabExpress는 풍부한 테스트 사전 설정 및 * 데이터 처리 기능을 제공합니다.

• LabExpress 소프트웨어는 자동 측정 및 병렬 측정을 모두 지원하여 테스트 효율성을 더욱 향상시킵니다.

• 각종 반도체 부품, LED 재료, 2차원 재료 부품, 금속 재료, 신형 재료 및 부품 테스트, 부품 신뢰성 등 연구 분야에 널리 응용된다.

• 제품 적용

• 신형 재료 및 부품 테스트

• 반도체 부품 신뢰도 테스트

• 반도체 부품 초단 펄스 테스트

• 반도체 부품 무손상 탐지 및 테스트

• 광전기 부품 및 마이크로 전자 기계 시스템 테스트

• 반도체 부품 초저주파 소음 영역 테스트

주요 사양 매개 변수:

• 광대역: 200V 전압, 1A 직류 전류
• 고정밀도: 30fA 정밀도, 0.1fA 민감도
• 노이즈 테스트 대역폭: 고정밀 zui 높이 100kHz, 초저주파 zui 높이 40Hz
• 노이즈 테스트 속도: <10s/bias(0.5Hz 이상의 주파수 해상도)
• 내장 펄스 테스트: 200V 전압, 3A 펄스 전류, 최소 50 μs 펄스 폭
• 내장형 CV 테스트: 200V/10kHz, zui 낮음 20fF
• 외장형 CV 테스트 모듈: 40V/2MHz(고정밀도),40V/10MHz(고대역폭)
• 고속 시역 신호 수집: 최소 샘플링 시간 < 1μs, 10만 포인트 데이터
• 노이즈 테스트 최소 임피던스: 500 오메가
• 노이즈 테스트 해상도: zui 낮음 2e-28A²/Hz
• 노이즈 테스트 주파수 해상도: 고정밀 0.1Hz, 초저주파 0.001Hz
• 고정밀 고속 파형 발생 및 측정 키트
• 2채널, SMA 커넥터
• 빠른 IV 테스트: ±10V 전압, zui 큰 10mA 전류
• SMU 패스스루: ±25V 전압 입력, zui 대100mA 전류
• 100MSa/s 샘플링 속도, 최소 권장 펄스 폭 최대 130ns

  
  

소프트웨어 기능

FS-Pro 제품군에 내장된 LabExpress 측정 소프트웨어는 * 테스트 및 분할 기능을 제공합니다.

분석 기능, 이 소프트웨어는 사용자 인터페이스와 유연한 설정을 위한 친근한 그래픽 제공

예, 다음과 같은 주요 기능이 있습니다.

직류, 펄스, 순간, 용량, 노이즈 테스트, 임의의 파형을 완벽하게 지원

발생 및 측정 기능

장거리 Stress 테스트 및 HCI, BTI, TDDB, GOI (V-Ramp,

J-Ramp) 신뢰성 테스트

공통 장치 테스트 사전 설정이 내장되어 있어 테스트 설정의 효율성을 크게 향상시키고

초보 작업자가 신속하게 테스트 완료

* 사용자 지정 기능을 통해 통신 번호를 유연하게 편집할 수 있습니다.

내장 * 데이터 처리 능력 테스트 후 직접 확장 가능 부품 특성 분석 다중

사용자의 후속 분석 및 연구를 위해 데이터를 직접 내보내는 데이터 저장 방법

모델 추출을 위한 모델링 소프트웨어 BSIMProPlus 및 MeQLab 가져오기

및 특성 분석

LabExpress Professional은 메인스트림 프로브 및 매트릭스 스위치 장치 제어 지원

프로덕션, 웨이퍼 매핑, 병렬 테스트 지원 자동 테스트 기능, 진-보

테스트 효율성 향상