타원형 검측기

1. 제품 개요

이광과학기술타원형 검측기소형 타원형 집적 기계로서 전체 고도 모듈화, 전기, 가스 회로 집적 기술을 통해 서로 다른 타원형 측정 모듈의 온라인/오프라인식 전체 타원형 측정 솔루션을 실현한다.

2. 제품 특징

■실험실에서 전체 타원형 집적 제어 측정 기술을 연구하는 것을 지지한다;

■ 생산라인 대기판 오프라인 사용자 정의 다중 스캔 측정 및 보고서 출력 지원;

■ 다중 타원형 시나리오 지원, 다중 조합 통합

■ 헤드 측정 모듈 및 견본 테이블 맞춤화 지원

3. 응용장면

과학 연구에서 각종 각방향 동성, 이성 박막 재료의 막 두께, 광학 상수 및 1차원, 2차원 나노 그리드의 구조 표징에 응용한다;산업 분야의 신형 광전 부품 산업과 관련된 박막 (배향막, 포토레지스트, ITO, 발광박막, 봉인박막) 의 전체 필름 오프라인화 신속 스캐닝 측정.

설계 시나리오 참조

고도 통합 타원형 기술 방안

기술 매개변수