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상해 민행구 원강로 5500호
Shanghai Maikewei Semiconductor Technology Co., Ltd
상해 민행구 원강로 5500호
Lake Shore의 CRX-VF는 C-V, I-V, 마이크로파 및 전광 탐지, 평면 외 수직장 초전도 자기 측정을 할 수 있는 ± 2.5T의 초전도 자기를 추가한 무액체 헬륨 폐순환 냉방 프로브대이다.연구자들은 CRX-VF를 사용하여 홀 효과 측정 및 자기 이송 매개변수를 테스트할 수 있습니다.CRX-VF는 지름이 51mm(2인치)에 달하는 웨이퍼에서 진정한90 ° 웨이퍼 프로브.시료는 냉각 과정에서 높은 온도를 유지할 수 있어 시료가 응축될 가능성을 낮출 수 있으며, 이는 유기재료를 측정하는 데 중요한 요구사항이다.
10K~500K의 온도 범위에서 작동할 수 있는 CRX-VF는 독립된 폐순환 냉동기를 사용하여 전원을 켠 후 아무도 협조하지 않고 저온으로 냉각할 수 있다.이 시스템은 무액체 헬륨 조작의 편리성과 Lake Shore 제품의 신뢰할 수 있는 측정 성능을 모두 고려하려는 사용자에게 완벽한 솔루션을 제공합니다.
주요 피쳐:
온도 범위 10K~500K
♦ 수직 자기장 ±2.5T, 3T 이상 자기장 맞춤 제작 가능
♦ 최대 2인치(51mm) 샘플
♦90° 프로브 샘플 측정
홀 효과 테스트 옵션
♦ 초고진공 옵션
♦ 시료가 대기 환경에 노출되지 않도록 맞춤형 진공 챔버 연결 시료 사용 가능
장치 매개 변수:
| 자기장 | ||
| 자기 유형 | 초전도 나선관 | |
| 자기장 방향 | 수직 방향 (샘플 면에 수직) | |
| 자기장 제어 | 전류 제어 | |
| 자기장 크기 | 최대 ±25 KOe(±2.5T) | |
| 자기장 균일성 | 0.5% 10mm 지름;1% 25mm 지름 | |
| 프로브 바늘 끝 이동 | <5μm 전체 자기장 범위 내 | |
| 온도 범위 | ||
| ±2.5 T | 온도 10K | |
| ±2 T | 온도 범위 11K ~ 400K | |
| ±1 T | 온도 범위 401K ~ 500K | |
| 이상의 온도 범위는 최대 6개의 프로브 팔을 설치한 상황에서 유효하다 | ||
| 온도 안정성 | ||
| 기본 온도 (가열 제어 없음) | 설명되지 않음 | |
| <10 K | ±50 mK | |
| 10 K ~ 500 K | ±10 mK | |
| 진공 | TPS-FRG 분자 펌프 기준 | PS-HV-CPX 고진공 옵션 |
| 진공 흡입 시간 | 90분 (<1×10)-3< 반환 | 30 분 (<1 × 10)-3 < 반환 |
| 실온하 | <5 × 10-4< 반환 | <5 × 10-6< 반환 |
| 기본 온도에서 | <1 × 10-5< 반환 | <5 × 10-7< 반환 |
| 최고 온도에서 | <5 × 10-5< 반환 | <5 × 10-7< 반환 |
| 순환 시간 | ||
| 총 순환 | 8.5 h | |
| 진공을 뽑다 | 1.5 h | |
| 프로브 냉각 | 5시간 | |
| 탐침대 온도 상승 | 2시간 | |
| 샘플 | ||
| 최대 크기 | 51mm(2인치) | |
| 샘플 백라이트 커넥터 | 옵션 없음 | |
| 샘플 회전 | 옵션 없음 | |
| 샘플 진동 | <1 μm | |
| 프로브 구성 | ||
| 최대 프로브 수 | 6 | |
| 프로브 팔 온도계 | 프로브 암의 온도 모니터링 | |
| 냉각 프로브 브래킷 | <50K(샘플은 기본 온도에서) | |
| 프로브 브래킷 | 연결 방사선 스크린 열침전 | |
| 프로브 암 브래킷 | 연결 방사선 스크린 열침전 | |
| DC/RF 프로브 | 저누전 전류 측정을 위한 전기 절연 > 100G | |
| 마이크로파 프로브 | 주파수 범위: DC ~ 67GHz | |
| 파이버 프로브 | 전광 측정에 사용 가능 | |
| 낙침 범위 | 모든 프로브는 지름이 25.4mm(1인치)인 원 안에 바늘을 놓을 수 있습니다. | |