프랑스 ANNEALSYS 진공 급속 퇴화로

생산지: 프랑스 AnnealSys;

모델 번호:AS-One100/AS-One150

AS-ONE 입식 급속 퇴화로는 프랑스 AS사가 생산하며 AS-ONE 100, 150, 200 등 3개 모델로 나뉘어 각각 4인치, 6인치, 8인치의 진공 급속 퇴화로 제품에 대응한다.

적용:

- 빠른 열 퇴화 RTA;

- 빠른 열산화 RTO;

- 확산, 접촉 퇴화;

- 화합물 반도체 퇴화;

- 질화, 실리콘화;

- 셀렌화, 황화;

- 그래핀 퇴적, 탄소 나노튜브 성장;

- 결정화, 치밀화;

기술 사양:

규격

AS-ONE 100은

AS-ONE 150은

최대 샘플 베이스 지름

100mm(4인치)

150mm(6인치)

캐비티 크기

130mm 지름 x 25mm

200mm 지름 x 25mm

적외선 / 최대 전력

12개 / 30KW

18개 / 34KW

적외선 냉각 방식

선풍기

선풍기

표준 온도 범위

실온 ~ 1250°C

실온 ~ 1200°C

고온 버전 범위 옵션

실온 ~ 1500°C

실온 ~ 1300°C

온도 상승 속도

0.1°C ~ 200°C/s

0.1°C ~ 150°C/s

온도 제어

빠른 디지털 PID 컨트롤러

빠른 디지털 PID 컨트롤러

열전지

K형

K형

고온계

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

150°C ~ 1100°C

400°C ~ 1500°C

가스 주입

쿼츠 윈도우 이하

쿼츠 윈도우 이하

가스레인지 세척

표준 구성

표준 구성

공정 가스 회로 방식/수량

MFC / 5소켓

MFC / 5소켓

진공 획득 시스템

干泵 (10-2Torr)

분자 펌프(10-6Torr)

干泵 (10-2Torr)

분자 펌프(10-6Torr)

크기 / 무게

510mm x 1425mm x 800mm/194Kg

510mm x 1425mm x 800mm/240Kg

참고 고객:

청화대학, 북경대학, 복단대학, 화남이공대학, 천진중전 18개, 남경중전 55개, GE 상해연구개발센터, 남방과학대학, 심수대학 등.

대형 샘플 빠른 퇴화로

빠른 퇴화로 (RTP/RTA) 는 반도체 재료와 부품에 자주 사용되는 공정 장비이다.빠른 퇴화로는 진공, 타성 분위기, 서로 다른 공정 가스 환경에서 사용할 수 있다.

기기의 특징:

- 빠른 열처리, 빠른 열퇴화 RTP/RTA;

- 진공, 심지어 고진공 환경에서도 사용할 수 있습니다.

- 156mm X 156mm 배터리 슬라이스, 300mm X 300mm 배터리 슬라이스 등 태양 전지 조각의 빠른 퇴화 공정에 널리 사용됩니다.