AE 무선 전원 Paramount MF 15002 15KW

AE 무선 전원 Paramount MF 15002 15KW1.8-2.17MHz RF 발전기현장에서 장기간 검증된 안정적인 출력과 제어 능력을 갖춘 고성능 무선 주파수 전원으로 실제 운행 과정에서 우수한 공정 안정성을 보여주었다.AE Paramount 시리즈 무선 주파수 전원은 우수한 필름 형성 능력을 가지고 있으며, 반도체 필름 공정에 널리 응용되고 있으며, 이 무선 주파수 전원은 필름 형성 속도가 빠르고 효율이 높으며, 생산 라인 효율과 제품 양률을 어느 정도 향상시킬 수 있다.MF 15002 무선 전원 공급 장치는 무선 주파수 출력을 정확하게 제어하여 반도체 공정에서 사출,CVD、PECVD、식각 공예에는 비교적 많은 응용과 좋은 표현이 존재한다.

AE 무선 전원 Paramount MF 15002 15KW매개변수 사양

장비 브랜드: AE(Advanced Energy)

장치 모델: Paramount MF 15002

AC 전원 입력: 3 phase~+PE, 200~208V, 50/60Hz, 70A

RF 무선 출력: 15KW, 1.8~2.17MHz, <1000Vrms

通讯接口：Sync In/Out, CEX In/Out, Match, User, Serial, ENET

장치 냉각: 수냉 냉각

수냉 입수 수요: MAX 입수 압력 6.9Bar/690kPa