12인치 입식 중고온 산화로

1. 제품 개요:

이론 X302주요 용도12형 600℃-1200 ℃ 산화 및 퇴화 작업.이 기계대는 입식 단강 난로관 시스템으로 공정 처리 과정이 고도로 자동화되었다.시스템은 주로 전송 모듈, 공정 모듈, 전원 캐비닛 등 부분으로 구성된다.

2. 장비적용：

웨이퍼 크기

12인치

적용 재료

실리콘

적용 프로세스

고온건조/ 습산소 산화, DCE 산화, 질소 혼합 산화, 고온 퇴화

적용 분야

첨단 집적회로, 전력 반도체, 안감

3. 특수 매개변수：

습산소 산화 작업은 산소에 수증기를 넣어 산화 반응을 하는 것이다.북방 화창 THEORIS X302 산화로 설비는 습산소 산화 공정에서 뛰어나다.그것은 산화막의 성장속도와 질량에 대한 정확한 조절을 실현하기 위해 수증기의 함량과 수입방식을 정확하게 통제할수 있다.온도제어에서도 마찬가지로 고정밀도의 특징을 구비하여 습산소환경에서 규소조각이 균일하게 열을 받아 균일하고 치밀한 산화막을 형성하도록 확보하였다.기체류량의 조절도 아주 정확하여 공예수요에 따라 산소와 수증기의 비률을 신축성있게 조정하여 부동한 제품의 습산소산화공예에 대한 특수한 요구를 만족시킬수 있다.우수한 공정 안정성과 중복성으로 인해 습산소 산화 공정의 결과를 예측할 수 있고 믿을 수 있다.

4.설비 특징

첨단 입자 제어 기술

첨단 금속 오염 제어 기술

고정밀 온도장 제어 기술

빠른 상승 지원/ 냉각 기술

높은 생산능력