니콘, 웨이퍼 자동 측정 시스템 NEXIV VMZ-NWL 200 발표

니콘주식회사의 공업계량사업부문은 최근 자동웨이퍼측정시스템 NEXIV VMZ-NWL 200을 발표하여 반도체백엔드공정에서 웨이퍼계량의 도전을 해결하였는데 전통적으로 수동으로 집행하는 사업이 전단과정통제보다 많았다.이에 따라 NEXIV VMZ-NWL 200의 주요 타깃 시장은 후단 반도체 제조 공정 중심의 측정이다.

NEXIV VMZ-NWL 200은 수동 측정 숙련 기술자의 부족을 완화합니다.반도체 산업은 소형화의 길을 따라 발전했으며 이는 측정에 필요한 기술 수준을 향상시키고 사용 가능한 엔지니어 수를 줄였습니다.반면 반도체 시장은 계속 확대되고 있기 때문에 점점 더 적은 사람들에게 더 많은 계량 기회가 제공되고 있다.따라서 기존 광학 현미경을 사용한 수동 측정은 한계에 도달했습니다.

NEXIV VMZ-NWL 200은 캐리어에 저장된 6인치 또는 8인치 웨이퍼를 측정 프로그램에 따라 자동으로 측정하는 시스템이다.NEXIV의 신뢰성과 NWL을 사용한 안정적인 웨이퍼 로드는 측정의 높은 반복성을 보장합니다.이 시스템을 사용하면 전용 소프트웨어를 사용하여 측정할 칩을 직관적으로 선택할 수 있습니다.따라서 누구나 높은 신뢰성으로 필요한 칩 측정 결과를 얻을 수 있습니다.또한 측정된 시간과 절차를 추적하여 추적 가능성을 높이는 데 도움이 됩니다.

이 시스템은 보안을 고려하여 설계되었으며 운영자 오류로 인한 손상을 방지하기 위해 보호 덮개를 제공합니다.SEMI 국제 표준 S2, S8 및 F47을 준수합니다.

니콘 측정 정보
니콘은 100년 이상의 역사를 통해 축적된 첨단 광전자 및 정밀 기술을 기반으로 전 세계적으로 다양한 제품, 서비스 및 솔루션을 제공하고 있습니다.이 그룹은 계속해서 새로운 가치를 창출하고 다양한 형태로 삶의 질과 제조업을 향상시키는 데 기여하고 있습니다.니콘의 산업 계량 사업부(IMBU)는 맞춤형 구성과 비용 효율성은 물론 구현 즉시 원활하게 작동하는 통합되고 최적화된 초고정밀도 솔루션을 제공합니다.니콘 디지털 제조 산하의 최신 발전은 IMBU와 회사 디지털 솔루션 업무 부문 (DSBU) 간의 더욱 긴밀한 협력이다. 이 부문은 각종 마이크로미터 표면의 광결도 소재를 가공하기 위한 일련의 광학 증재 및 감재 제조 솔루션을 내놓았다.