국산 층류 유량 측정 제어 하드코어 등장!이도는 3대 주력 제품을 가지고 CIOE 중국 광박회에 모습을 드러냈다

9월 9일, 제27회 중국국제광전박람회 (CIOE 중국광박회) 가 심수국제전시센터에서 개막되였다.이번 전시회에는 전 세계 30여개 나라와 지역의 4000여개 기업이 집결되였는데 전시면적은 26만평방메터에 달한다.국내 층류류량측정통제령역의 대표기업으로서 섬서성도지능과학기술유한공사 (이하'역도') 는 여러가지 자체연구제품을 가지고 전시회에 모습을 드러냈다.

역도 부스 현장(부스 번호: 7A97)

산시이도지능과학기술유한공사의 층류품질유량계와 컨트롤러 제품은 이미 중국계량과학연구원 관련 인증을 통과하여 통용형 층류품질유량계의 규모화 생산능력을 갖추었으며 동시에 층류유량계 CPA 인증자질을 가지고 있다.회사는 2015년에 설립되었고, 연구개발팀은 서북공업대학 항공우주학과 박사후, 박사를 핵심으로 층유압차와 마이크로유량측정통제기술을 10여년간 깊이 경작하였으며, 20여개의 특허를 보유하고,"유량측정기술전서"편찬, 과학기술부 수소에너지중점전문 등 국가급 프로젝트에 참여하였다.제품 범위는 0.5SCCM~5000SLPM을 커버하고 70여 종의 가스를 지원하며 반도체, 태양광, 연료전지, 바이오제약 등 업종을 서비스하고 국내 여러 지역을 커버하는 현지화 서비스 네트워크를 구축했다.

두터운 기술 축적에 의거하여 이번 전시회는 P 시리즈 휴대용 품질 유량계, EC 시리즈 일체형 품질 유량 컨트롤러, TC 시리즈 포켓형 품질 유량 컨트롤러를 집중적으로 전시하여 각각 현장 검사, 공업 과정 제어와 소형 설비 통합 장면에 대응한다.

　　P 시리즈 휴대용 품질 유량계: 휴대용 이동, 현장 신속 유량 검사

난이도 P 시리즈 차세대 휴대용 품질 유량계

P 시리즈는 쉽게 개발된 차세대 휴대용 가스 품질 유량계로, 유량의 빠른 측정, 온라인 유량 비교와 설비 순찰을 위해 특별히 제작되었다.제품은 층류 압차식 측정 원리를 채택하여 하겐-박숙엽의 법칙에 기초하여 층류 소자 양단의 압차를 읽고 부피 유량을 계산하며, 압력, 온도 수정을 거쳐 표준 부피 유량과 품질 유량을 획득한다;컬러 터치 스크린은 표시된 유량, 작업 상황 유량, 누적 유량, 압력, 온도 등 파라미터를 동시에 표시할 수 있다.

장치에 내장된 배터리는 15시간 동안 지속되며 외부 데이터 케이블 없이 독립적으로 측정할 수 있습니다.측정 범위는 0.5SCCM~5000SLPM, 정확도 최고 ±0.5% 판독, 중복 정밀도 최고 ±0.1% F.S., 응답 시간 ≤ 100ms, 저압손 구조 선택 가능.

　　EC 시리즈 일체형 계층 흐름 품질 트래픽 컨트롤러: 복잡한 작업 상황에 적합한 완전 자체 개발 핵심 부품

가변 EC 시리즈 올인원 계층 흐름 품질 트래픽 컨트롤러

EC 시리즈는 역도 연구 개발의 일체형 유니버설 가스 품질 유량 컨트롤러로 각종 업계의 다른 장면에 적용된다. 층류 소자, 정밀 비율 조절 밸브, 압차 센서, 소프트웨어 알고리즘과 회로 설계 5대 핵심 기술은 모두 자체 연구 개발이다. 측정 범위는 0.5SCCM~5000SLPM, 정확도 최고 ±0.5% 설정값, 중복성 정밀도 최고 ±0.1% F.S., 유량 제어 측정 비율 최고 200:1.

제품의 넓은 온도 적응 범위는 -50 ℃ ~80 ℃ 에 달하며, 최대 작업 압력은 2MPa 이내이며 음압을 지원하며, 70여 종의 기체는 임의로 전환할 수 있다;RS485, PROFIBUS, EtherCAT, PROFINET, DeviceNet 및 4~20mA/0~5V 등 다양한 통신방식을 지원하며 범용, 내부식, 반도체, 항흡착 등 다양한 장면모델 및 VCR, 카드커버, G나사, IGS 등 가스회로인터페이스를 제공한다.

　　TC 시리즈 포켓형 스트림 품질 트래픽 컨트롤러: 작은 크기, 고성능

역도 TC 시리즈 포켓형 층류 품질 유량 컨트롤러

TC 시리즈는 역도에서 개발한 차세대 컴팩트형 가스 품질 트래픽 컨트롤러로 몸체 길이가 70mm에 불과하며 탈부착식 마그네틱 터치 스크린을 갖추고 있다.제품은 층류압차식측정원리를 채용하고 자주적으로 연구개발한 고정밀 전자기비례밸브를 내장하여 센서피드백과 결부하여 정확한 페환제어를 실현한다.

제품 범위 0.5SCCM~20SLPM 커버리지, 정확도 최고 ±0.5% 설정값, 반복 정밀도 최고 ±0.1% F.S., 응답 시간 ≤600ms, 70여 가지 가스 전환 지원, G 스레드,VCR、카드 커버, IGS 등 다양한 가스 회로 인터페이스는 소형 실험 플랫폼과 컴팩트한 공정 모듈의 트래픽 측정 제어 통합에 적합하다.

전시회 현장에서 이도 부스는 많은 반도체, 광전, 신에너지 업계 관중들이 발걸음을 멈추고 자문했다.기술자는 CVD 공정, 연료전지 테스트, 설비 교정 등 응용 사례와 결합하여 측정 정밀도, 다중 가스 적합, 장기 운행 안정성 등 문제에 대해 고객과 깊이 교류한다.

앞으로 역도는 지속적으로 층류압차류량측정통제핵심기술을 깊이 갈고 제품행렬을 반복적으로 최적화하며 현지화서비스를 보완하여 국산 자체연구정밀류량부품으로 반도체, 신에너지, 첨단과학연구장비산업사슬의 자주적승격을 조력하게 된다.