하이리스, CIOE 2026 스펙트럼 분석 시리즈 제품 선보여 고정밀 가스 검사에 초점

2026년 9월 9일, 제27회 중국국제광전박람회 (CIOE 중국광박회) 가 심수국제전시센터에서 정식으로 개막되였다.심수시 하이리스자동화과학기술유한공사 (이하'하이리스') 는 그 질량분석계렬제품을 가지고 이번 전시회에 모습을 드러냈으며 반도체, 신에너지, 항공우주 등 업종의 정밀검측수요를 대상으로 기체검측과 질량분석방향에서의 제품배치를 보여주었다.

하이레스 부스

하이리스는 밀봉 검사, 질량 스펙트럼 누수 검사, 질량 스펙트럼 분석의 연구 개발과 응용에 전념하고 있다.2008년 설립 이후 하이리스는 기밀 검사, 가스 검사, 스펙트럼 분석 및 질량 스펙트럼 누출을 포괄하는 완전한 기술 체계를 구축하여 10⁻¹~10⁻¹Pa·m³/s의 검사 정밀도를 적용하여 대누출 선별에서 극미누출 검사에 이르는 다양한 요구를 충족시켰다.현재 하이리스의 제품은 이미 액체 냉각, 반도체, 자동차, 신에너지, 항공 우주 등 분야에 응용되었으며, 자체 브랜드 Hirays는 검측 설비, 자동화 시스템 및 맞춤형 작업장, 치구를 포함하며, 단일 기계 설비에서 전체 라인으로 통합된 원스톱 검측 방안 능력을 갖추고 있다.

이번 출품에서 하이리스는 HM-130 고성능 잔존가스 분석기를 중점적으로 전시했다、HM-150 고압력 잔존가스 분석기, HM-200 온라인 질량 분석기 및 HM-230 다압력 잔존가스 분석기 등 다양한 제품.

•HM-130 고성능 잔존가스 분석기

이번 전시의HM-130 고성능 잔존가스 분석기반도체 및 진공 공정을 위해 고진공 환경을 위해 설계되었습니다.이 장치의 최소 검사 가능 압력은 2E-15Torr이며, 스캔 속도는 2ms/점에 달하며, 품질 범위는 1-300amu를 덮어씁니다.반도체 공정에서는 누수 검사, 진공 진단, 탄화수소류 분석 등의 장면에 사용할 수 있다.그 고감도 특성은 초저농도 기체의 불순물을 포착할 수 있고, 빠른 응답 능력은 실시간으로 제조 과정의 순간적 변화를 포착할 수 있으며, 넓은 질량 수 범위는 여러 장면, 여러 기체의 정성 정량 분석과 호환된다.제품은 반도체와 진공도금 등 가혹한 환경설계를 지향하며 장기운행의 안정성과 양산공정의 일치성을 중시한다.

•HM-150 고압력 잔존가스 분석기

　　HM-150 고압력 잔존가스 분석기고압의 가혹한 작업 상황을 위해 특별히 제작되었으며, 작업 압력 상한선은 2Pa이고, 최저 분압 검측 제한은 2E-9Pa이며, 산화 이트륨 이리듐 이중 필라멘트 또는 이중 텅스텐 필라멘트를 코팅하고, 응답 속도는 2ms/점이며, 고진공에서 PVD 공정에 이르는 고감도 공기 누출과 오염 검측에 응용할 수 있다.장비는 1-50 amu 및 1-100 amu 이중 질량 수 범위를 갖추고 있으며, 전체 스펙트럼 스캔과 특정 질량 수 스캔을 지원하며, H, He, N, O, Ar 등 흔히 볼 수 있는 기체를 빠르게 정성 정량 분석할 수 있다.그 고감도 감지 능력은 오염원을 잠그는 데 도움이 되며, API 통합 및 자동 모니터링 경보 기능을 지원하여 디지털 생산 라인에 접속할 수 있다.

•HM-200 온라인 질량 분석기

　　HM-200 온라인 질량 분석기잔존가스분석법(RGA)을 적용해 마이크로미터급 누공 검출 정밀도 수요를 대상으로 고정밀 누출 검출을 위한 온라인 분석 방안을 제공했다.이 제품은 핵심 자체 연구, 일체형 통합, 무소모품 원가 및 다강 교대 검측 등 특성을 강조하고 하이리스의 원스톱 서비스를 곁들인다.사극대 질량 스펙트럼 기술을 기반으로 HM-200은 전해액을 직접 검측할 수 있으며, 비교적 높은 민감도와 넓은 질량 수 범위를 갖추고 있으며, 진공 시스템 잔여 기체 정성 정량 분석, 공정 기체 실시간 검측 및 오염 소원에 사용할 수 있으며, 공정 검증과 연구 개발 수요를 만족시킬 수 있다.검사 과정에 헬륨가스를 사용할 필요가 없어 시스템 운영 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다.이와 동시에 이 방안은 전통적인 헬륨검사에서 기체의 상승, 전해액의 표면장력으로 인한 루락검사문제에 대해 개진구상을 제공해주었다.기기는 인간공학적 설계에 부합하고 자체 터치 디스플레이가 있어 조작 부하를 줄일 수 있다.

•HM-230 다중 압력 잔여 가스 분석기

　　HM-230 다중 압력 잔여 가스 분석기RGA, 진공 시스템 및 스마트 샘플링 모듈이 일체화된 온라인 질량 스펙트럼 분석 설비로 다압력 복잡한 작업 상황에 적합하다.그 넓은 압력 범위는 1E-8Torr~1.2atm을 커버하며, 한 대의 설비는 ALD, CVD, PVD 및 각식 등 진공 환경에 대한 요구가 가혹한 반도체 공정에 적용되는 전체 계단식 압력장을 커버할 수 있다.이 설비는 1-100/200/300amu 세 가지 품질 수 선택을 제공하며, H, He, N, O, Ar 등 핵심 가스 성분을 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 밀리초급 응답 속도를 갖추고 있어 공정 가스 성분 변화를 실시간으로 추적할 수 있으며, 이상 파동을 발견했을 때 즉시 경보할 수 있다.일체형 통합 설계는 RGA, 진공 시스템, 샘플링 모듈을 고도로 통합하여 복잡한 진공 시스템을 추가로 구축할 필요가 없으며, 즉시 측정할 수 있다.이밖에 설비는 오염방지코팅과 표면둔화공법을 채용하여 공예퇴적물의 핵심부품에 대한 오염을 줄이고 사용수명을 연장하는데 도움이 된다.

이번 CIOE에서 하이리스는 질량분석계렬제품의 집중전시를 통해 기체검측과 질량분석분야에서 핵심부품으로부터 시스템통합에 이르는 기술능력을 구현했다.반도체, 신에너지 등 산업의 검측 정밀도와 공정 안정성에 대한 요구가 부단히 높아짐에 따라 하이리스의 관련 제품 방안은 업계 사용자들에게 더 많은 선택을 제공했다.