푸단대학 플라즈마 표면처리 시스템 Pluto30 설치 디버깅

플루토30모든 기능을 갖춘 플라즈마 시스템으로,13.56MHz의무선 주파수 발생기와 자동 매칭 네트워크 전원 공급 장치는 전체 프로세스 영역에서 균일한 플라즈마를 생성합니다.플루토30최대 진공 캐비티 지원7다양한 모양의 샘플을 수용할 수 있도록 조절 가능한 샘플 선반플루토30다양한 전극 설정으로 구성 가능RIE는화PECVD는따라서 이 시스템의 응용 범위를 확대하고 사용자에게 좋은 유연성을 제공한다.

푸단대학 고분자학과 선생님은 이 설비로 플라즈마 화학반응을 하는 실험을 진행하기를 희망한다. 즉 설비에서 생성된 플라즈마를 리용하여 진공펌프와 기체밸브가 닫힌 상황에서 진공강내의 물질과 화학반응을 진행한후 화학반응후 산생된 새로운 물질을 획득한다.이 실험은 플라즈마 설비에 대해 정확한 제어를 요구하며, 진공강의 보압 능력에 대해 매우 높은 요구를 가지고 있다.고객은 한차례의 조사 연구를 거친 후, 최종적으로 우리 회사를 선택하였다.플루토시리즈의플루토30플라즈마 표면 처리 시스템.

응용 분야:

표면 활성화

표면 에너지를 높여 재료의 접착성을 높인다: 예압모 접착;프리 용접선 접착

표면 콜로이드 유동성 강화: 예비 성형;사전 역조립 칩 유출

표면 조잡도 및 식각

표면 응력 저하, 표면 접착성 개선

회색화 및 표면 청소

Plasma 플라즈마 식각(RIE 구성 포함)

전매질/III-IV 재료

나노 코팅(액체 전구체 수송장치 포함)

내수성 나노코팅: 인쇄회로기판 표면처리

방부 나노코팅: 의료기기, 의료이식물