직류 자기 제어 사출기는 광범위하게 응용되는 박막 제조 설비로서 실제 사용에서 항상 여러 가지 문제에 부딪힐 수 있다.이러한 문제는 일반적으로 공정 안정성, 박막 품질, 설비 유지 보수 등 방면과 관련된다.다음은 일반적인 문제에 대한 정리, 원인 분석 및 해결 제안입니다.

1. 플라즈마가 불안정하거나 빛을 발할 수 없다

1. 문제 표현:

휘광은 방전이 불안정하거나 깜박이거나 뛴다.

정상적으로 휘황을 일으킬 수 없고, 플라스마가 생기지 않는다.

2. 가능한 원인 및 대책:

진공도 부족: 이 바닥의 진공 또는 작업 기압이 기휘 요구에 도달하지 않았습니다.진공 시스템 (펌프, 밸브, 배관) 의 누출 여부를 검사해야 한다.

기체의 흡기문제: 작업기체 Ar가 불순하거나 강체내의 아르곤가스가 너무 적어 휘광이 비정상적이다.

표적재 문제: 표적재의 과도한 소모로 인해 자기 제어 활주로 구역의 노출이 미비하고, 표적재 중독 (반응 사출 시) 또는 후면판의 냉각 불량으로 인해 표적면의 온도가 너무 높다.과녁의 상태를 검사하여 냉각수가 잘 통하도록 확보하다.

접지 불량: 강체 또는 샘플대 접지 불량으로 방전 회로 이상을 초래한다.모든 전기 연결 및 접지선을 확인합니다.

2. 박막 품질 문제

1. 부착력 차:

원인: 기판의 청결이 1밑바닥을 뚫지 못하고 기판의 온도가 너무 낮으며 퇴적초기의 이온폭격이 부족하거나 (편압이 켜지지 않았거나 너무 낮음) 박막의 내응력이 너무 크다.

대책: 기판 세척(초음파 세척, 플라즈마 세척);기판의 온도를 적당히 높이다.기판 편압을 켜고 이온 세척과 막기 결합력을 강화한다;공정 매개변수를 최적화합니다 (니켈과 같은 부착력을 증가시키는 베이스를 도금하기 전에 먼저 도금).

2.박막이 고르지 않다:

원인: 표적재의 침식이 고르지 못하고 기편과 표적면이 평행하지 못하며 기편의 공전/자전이 효력을 상실한다.

대책: 표적재 자기장 분포 최적화(자기 조절 가능 표적 사용);베이스 슬라이스의 변환 또는 회전 동작이 올바른지 확인합니다.표적-기 상대 위치와 각도 조정;필요한 경우 베젤을 사용하여 필름 두께 분포를 최적화합니다.

공통 유지 관리 및 예방 권장 사항

1.규범적 조작: 엄격히 설비 조작 규정에 따라 진행, 특히 진공 흡입, 충전, 전원 켜기 등 절차.

2. 정기적인 유지 관리:

정기적으로 캐비닛을 청소하고, 펌프 오일을 교체하고, 밀봉 코일을 검사한다.

진공계, 유량계, 전원 등 핵심 부품을 교정하다.

냉각수 시스템과 가스관 점검.

3. 공정 기록: 매번 운행하는 매개 변수, 현상과 결과를 상세하게 기록하여 문제 추적과 공정 최적화를 편리하게 한다.

4.충분한 예열 및 사전 사출: 전원을 켠 후 정식으로 도금하기 전에 설비를 충분히 예열하고, 표적에 충분한 시간의 사전 사출을 진행하여 표적면을 청결하고 플라즈마를 안정시킨다.