트랜지스터의 닫힌 전류 측정, 고저항 재료 저항률 측정, 나노 부품의 전기학적 특성, 스캐닝 프로브 현미경 등의 실험에서 부품의 크기가 나노 수준으로 축소되거나 재료가 매우 얇을 때 누전류와 측정 대기 전류 자체가 극히 미소하다.이 단계에서 실험자는 열 소음, 진동 소음, 심지어 공기 중 분자 이온화로 인한 전하를 포함하여 다양한 소음 및 간섭과 싸워야합니다.

이렇게 미소한 전류의 실험은 전류가 100비안 (fA, 즉 10 ^ {-13} 암페어) 보다 작아야 하며, 100fA 이하의 전류 측정을 진행하려면 일반적인 만용계는 소용이 없다.반드시 전문적인 설비와 기술을 사용해야 한다.

1, 정전기 / 소스 측정 장치: 이것은 핵심 장치입니다.고정밀 정전기 또는 SMU는 0.1fA 이하의 전류를 측정할 수 있습니다.그들은 특수한 "허지" 기술과 초고피드백 저항 (예: > 10 ^ {14} 을 사용한다.

2, 삼동축 케이블: 이중 차폐된 삼동축 케이블을 사용하여 피측 부품과 정전기를 연결합니다.외층차폐접지, 내층차폐는 중심도체와 같은 전위(보호기술)로 구동돼 케이블의 누출전류와 기생용량을 최대한 줄인다.

3. 차폐 및 접지: 전체 테스트 시스템 (탐침대 포함) 은 외부 전자기 간섭을 차단하기 위해 좋은 패러데이 케이지 (금속 차폐 상자) 에 설치해야 한다.

4. 환경 제어: 습도를 제어하는 것은 매우 중요하다. 왜냐하면 습한 공기는 절연 표면에 전도 통로를 형성하고 거대한 누출 전류를 도입하기 때문이다.일반적으로 건조한 질소 환경 또는 진공에서 측정됩니다.

5. 진동 격리: 기계 진동은 케이블과 커넥터의 미세한 변위를 초래하여 마찰 전기 소음을 발생시킬 수 있으며, 이는 고임피던스 측정에서 현저한 소음원이다.

전류전 100fA의 문제를 해결하기 위해 진공탐침대 KT-Z1604T를 채용할수 있다. 이 탐침대의 탑재대는 60x60 스테인리스강대면으로서 대면의 최고 1고는 최고 1고 350 ℃ 까지 온도를 높일수 있다.진공 캐비닛은 공기 흡입구와 진공 흡입 인터페이스를 설계했다.탐침팔은 X/Y/Z 3축이동으로서 3개 방향은 모두 진공환경에서 정밀하게 자리를 옮겨 조절할수 있는데 그중 X방향조절범위: 0-30mm, y방향조절범위: 0-20mm, z방향조절범위: 0-20mm, 사용자는 수요에 따라 스스로 조절할수 있다.사용시 검측해야 할 부품을 가열대에 고정한 다음 탐침지지대 X/Y/Z방향의 려정을 미세조정하여 현미경관찰을 통해 탐침이 검측점에 조준되면 검측할수 있다.