플라즈마 세척기의 사용 절차는 주로 준비, 파라미터 설정, 조작 운행, 종료 처리 몇 가지 핵심 절차를 포함한다.구체적으로 다음과 같습니다.
1. 준비사업
1.설비 검사: 플라즈마 세척기의 각 부품이 완전하고 전원 플러그가 정확하게 삽입되었으며 전압이 요구에 부합되는지 확인합니다 (일반적으로 AC220V ± 10%), 가스 공급원이 충분하고 연결이 누출되지 않았습니다.아르곤, 산소, 질소와 같은 가스 파이프라인이 긴밀한지 확인하고, 비눗물을 이음매에 발라 기포를 검사하여 밀봉성을 확인할 수 있다.이와 동시에 설비의 접지가 량호하고 루전위험을 피면해야 한다.
2.샘플 준비: 세척 대기 샘플 표면의 큰 불순물 (예: 먼지, 기름 얼룩) 을 청소하고 무수 에탄올로 닦은 후 말릴 수 있습니다.시료를 시료 선반에 고정하여 표면이 가려지지 않고 플라즈마에 균일하게 노출되도록 한 후 반응강 중심 위치에 놓아 전극에 접근하지 않도록 한다.소형 물체의 경우 클램프나 트레이로 고정해 세척 중 이동을 방지할 수 있다.
3. 환경 및 소모품 확인: 통풍장이나 배기장치를 열어 플라즈마 반응으로 인한 기체가 환경을 오염시키지 않도록 한다.기체강병의 압력(일반적으로 0.2-0.5MPa를 유지해야 함)을 검사하고 반응강문의 밀봉패드가 깨끗하고 파손되지 않았음을 확인하며 실험환경에는 강렬한 진동이나 분진이 없어야 한다.
2. 매개변수 설정
1.모드 선택: 세척 요구에 따라 적합한 작업 모드 (예: 일반 세척, 깊이 세척) 또는 가스 유형 (예: 산소는 기름 오염 제거, 아르곤 가스는 표면 활성화, 복합 세척은 아르곤 + 산소 혼합) 을 선택합니다.
2. 매개변수 조정:
- 출력: 하드 샘플은 고출력(예: 300W), 소프트 또는 열 민감성 샘플은 저출력(예: 50W);
- 시간: 가벼운 오염 설정 짧은 시간 (30초-2분), 심각한 오염 10분으로 연장;
- 진공도: 일반적으로 10-100Pa 범위에서 유지됩니다.
- 가스 유량: 일반적으로 10-50sccm로 설정하여 유량이 너무 커서 진공을 파괴하거나 너무 작아서 플라즈마 농도가 부족하지 않도록 합니다. [^2^]일부 모델은 세그먼트 매개변수 설정 (예: 저전력 사전 처리, 고출력 세척) 을 지원합니다.
3. 실행 시작
1.진공 흡입: 반응 캐비티 문을 닫고 진공 펌프를 가동하여 캐비티 내 압력을 설정치 (예: 20Pa) 로 추출합니다.완료되면 계측기가 자동으로 알림 (표시등이 켜지거나 벌이 울림) 을 표시합니다.
2.통기전리: 작업기체에 통하고 안정된 류량을 유지하며 무선주파수전원을 가동하여 기체를 자극하여 플라즈마를 산생한다.이때 반응강 내에 미약한 휘광이 나타나는 것은 정상적인 현상에 속한다.
3.실시간 모니터링: 화면을 통해 진공도, 가스 유량, 전력 및 남은 시간 등의 매개변수를 관찰하여 이상 없음 (예: 진공도 미달 또는 가스 누출).일부 모델은 자동 경보 기능을 갖추고 있어 이상이 발생하면 정지하여 보호할 수 있다.
4. 처리 종료
1.전원을 끄고 유압: 세척이 끝난 후, 무선 주파수 전원과 가스 밸브를 닫고, 기기는 자동으로 유압 프로세스에 들어간다 (소량의 타성 가스가 내외 압력을 균형 잡는다).방압이 완료된 후에야 강문을 열 수 있다.
2.수거 검사: 보호 장갑을 착용하고 샘플을 제거하고 표면 상태 (예: 건조 여부, 잔류 없음) 를 관찰하면 물방울 접촉 각도 테스트를 통해 세척 효과를 검증 할 수 있습니다.여러 샘플을 연속적으로 처리해야 하는 경우 총 전원을 끄지 않고'진공 흡입 → 세척'단계를 직접 반복할 수 있습니다.
3.청결 유지보수: 깨끗한 걸레로 반응강문 밀봉매트와 견본틀을 닦고 강내의 분진잔류를 정리한다.가스 강철 병 밸브를 닫고 진공 펌프를 멈추고 총 전원을 차단하여 마무리합니다.
플라즈마 세척기의 조작 프로세스는 표준화되고 지능화되며, 핵심은 사전 준비와 파라미터의 적합성에 있다.사용자는 샘플 재질 (하드/소프트, 내온성) 과 세척 목표 (기름 제거, 활성화, 부식) 에 따라 매개변수를 유연하게 조정하는 동시에 고글, 장갑 착용과 같은 안전 규범을 엄격히 준수해야 한다.정기적으로 설비 (예를 들어 밀봉성 검사, 반응강 청결) 를 유지하면 기계의 사용 수명을 현저하게 연장하고 세척 효과의 안정성을 보장할 수 있다.