광자 통합, 생물 의료, MEMS 제조 등 분야에서 마이크로 나노 기술이 깊이 침투함에 따라 다양한 산업에서 3D 마이크로 나노 구조의 정밀도, 재료 호환성 및 가공 효율에 대한 차별화된 요구를 제기합니다.나찰 3차원 Nanoscribe 의탁전_리 2GL® 쌍광자 그레이스케일 광각 기술은"과학 연구 혁신-공업 양산"의 전체 링크를 포괄하는 3차원 마이크로 나노 가공 솔루션을 구축하여"고정밀도 + 고유연성 + 다장면 적합"의 핵심 우세로 각 업계가 마이크로 나노 가공 병목 현상을 돌파하는 관건적인 선택이 되었다.

광자 패키징 분야에서 마이크로 나노 3D 프린팅 기술, 특히 이중 광자 집선 (2PP) 기술은 고정밀도, 진정한 3D 가공 능력과 마스크가 필요 없는 장점으로 광섬유와 칩 간의 고효율, 저손실의 광 결합에 변혁적인 솔루션을 제공한다.

종합적으로 볼 때, 나찰 3차원 Nanoscribe는 이 분야의 공 _ 인 업계 표준 _ 봉이다.핵심 기술인 이중 광자 회색조 포토레지스트(2GL)®），이중 광자 중합의 정밀도와 그레이스케일 광각의 효율을 결합하여 광자 패키지의 복잡한 3차원 미나 구조의 제조에 매우 적합하다.

1. 기술 노선 선택

1. 이중 광자 중합 2PP (비초 레이저 직사): 마이크로미터-마이크로미터급 자유형 3차원 구조를 지향하며, 매우 _ 높은 설계 자유도를 갖추고 있으며, 복잡한 마이크로 광학, 마이크로 기계, 마이크로 흐름 제어 및 생물 지지대 등에 적합하다;복잡한 기저에서 직접 성형할 수 있으며 다재료와 복합공예를 지원한다.

2. 이중 광자 그레이스케일 광각 2GL: 동일한 워크플로우에서 2.5D/3D를 모두 고려하여"체소"강도의 정교한 변조를 통해 표면의 초매끄러움과 굴절률/형상 일체화 제어를 획득하여 고수치 공경 미광학, 사다리꼴 굴절률 부품과 고정밀 금형 모판에 적합하다.

3. 비초 레이저"2합일"복합 전략: 같은 플랫폼에서 비대칭 쌍광자 중합 (각 방향 이성 하이드로겔 관절 구축) 과 제자리 레이저 환원 퇴적 은 나노 입자 (광열 구동과 감지 기능 부여) 를 결합하여 다관절 마이크로 로봇, 재구성 가능한 변형 부품 등 활성 마이크로 시스템에 사용한다.

4. 광섬유/칩에 직접 인쇄: 기울기 보정과 다자유도 조준을 제공하여 광섬유 단면 SERS 프로브, 전도-미광학 혼합 통합 및 칩 내 3D 마이크로 구조의 증재 제조를 실현하여 포장과 조준 원가를 현저하게 낮춘다.

5. 웨이퍼급 대량 및 자동화: 6인치 웨이퍼의 대량 가공을 대상으로 자동 수지 분배, 다중 사용자 프로세스와 원격 모니터링을 지원하며 빠른 원형과 소량 생산 수요를 모두 고려한다.