TALD는 두 가지 또는 여러 종류의 전구체 기체를 번갈아 도입하여 기저 표면에 자한성 화학 반응을 일으켜 박막을 층층이 퇴적한다.각 전체 퇴적 주기에는 다음 네 단계가 포함됩니다.
첫 번째 전구체 기체를 통입한다: 기저 표면과 화학적 흡착을 일으켜 단층 흡착을 형성한다.
불활성 가스 청소: 여분의 전구체와 부산물을 제거하고 기상 반응을 피한다.
두 번째 전구체 기체에 통하다: 이미 흡착된 첫 번째 전구체와 반응하여 단원자층 박막을 생성한다.
다시 타성 가스 청소: 반응하지 않는 전구체와 부산물을 제거하고 다음 순환을 준비합니다.
열원자층 퇴적은 교체를 통해 두 종류의 전구체 기체 (예를 들어 트리메틸알루미늄과 수증기) 를 도입하여 기저 표면에 화학적 흡착과 표면 반응을 일으켜 단원자층을 형성한다.매번 반응한후 타성기체 (예를 들면 질소) 로 반응하지 않은 전구체를 세척하여 퇴적과정의 자한성을 확보하고 과도한 반응을 피해야 한다.
반응실 청결 및 오염 예방 통제
매번 사용후 즉시 반응강실을 정리하고 먼지가 없는 천과 전용세정제로 내벽을 닦으며 분출구, 안감대 등 때가 잘 끼는 부위를 중점적으로 세척하여 전구체가 잔류하거나 과립물이 퇴적되여 박막의 성능에 영향을 주지 않도록 해야 한다.
장기간 사용을 중지할 때는 파이프를 비우고 불활성 기체로 청소하여 잔류물이 파이프를 부식하는 것을 방지해야 한다.
유지 보수 중점
전구체 관리: 전구체는 쉽게 수해/산화되므로 밀봉하여 저장하고 정기적으로 교체해야 한다 (순도 저하를 피한다).
반응강 청결: 퇴적 후 잔류 전구체는 퇴적물을 형성하기 쉬우므로 정기적으로 플라즈마 (예: O₂플라즈마) 또는 화학 세척액으로 청소해야 한다;
관로 누출 검사: 가스 관로가 누출되지 않도록 보장하고, 전구체 혼합 반응으로 인해 막히지 않도록 한다;
진공 시스템 유지 보수: 정기적으로 진공 펌프 오일, 청결 진공 게이지를 교체하여 진공도 안정을 보장합니다.