이온 사출기의 표적재 선택과 코팅 품질 관련

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Beijing Yingsitao Technology Co., Ltd

날짜:2025-12-13읽기 :1

　　이온 사출기고에너지 이온을 통해 표적재 표면을 폭격하여 원자급 박막 침적을 실현하다.표적재의 선택은 코팅층의 물리화학성능을 직접 결정하므로 재료특성, 공정매개변수 및 응용수요를 종합적으로 고려해야 한다.

표적 유형과 성능 일치

Au, Al, Cr와 같은 금속 표적: 전자 패키징 및 광학 반사막과 같은 전도성이 요구되는 장면에 적합합니다.

NiCr, TiAl과 같은 합금 표적: 성분 조절을 통해 TiAlN 코팅 경도 > 25 GPa와 같은 코팅 경도를 최적화하거나 항산화 기능을 제공합니다.

SiO, ZrO와 같은 세라믹 표적: 절연층 또는 내마모 코팅에 사용되지만 바삭함으로 인해 사출 효율이 떨어질 수 있습니다.

표적재 파라미터가 코팅 품질에 미치는 영향

순도 요구: 고순도 표적재 (≥ 99.99%) 는 불순물 도입을 줄일 수 있다. 예를 들어 반도체 분야에서 금 표적의 금 함유량 > 99.999% 를 요구한다.

미시적 구조: 기둥 모양의 결정 구조 표적재는 코팅층의 응력 집중을 초래하기 쉬우며, 미세 결정 표적재(결정 크기 <1μm)는 부착력을 향상시킬 수 있다.

사출률: 서로 다른 재료의 사출률 차이가 현저하다(예를 들어 Al>Cu>Ti), 출력을 통해 균형 퇴적 속도를 조절해야 한다.

일반적인 응용 시나리오

바이오 센서: 고순도 금 표적 (Au ≥ 99.999%) 을 선택하여 코팅 전도성과 바이오 호환성을 확보합니다.

광학 부품: SiO₂ 표적재를 사용하여 반사 방지막을 제작하고 사출 기압 (0.5-1 Pa) 조절을 통해 굴절률을 최적화합니다.

내마모성 코팅: TiN 표적은 펄스 편압 사출과 함께 공구 표면에 치밀한 나노 결정 코팅을 형성할 수 있습니다.

표적재 선택 전략

비용 통제: 임시 전도 계층을 위해 Ag 대신 Ag를 사용하는 것과 같이 높은 가격의 대체 재료를 우선적으로 선택합니다.

공정 호환성: 고온 사출 시 내열 표적재 (예: Mo, W) 를 선택하여 표적재의 연화 변형을 피해야 한다.

환경보호 고려: 납, 카드뮴 등 유해원소를 함유한 표적재를 점차 도태시키고 RoHS 표준에 부합한다.