광학 협봉

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개요

광학협봉 (NRA) 은 4개의 독립적으로 제어되는 날개를 장착하여 서로 직사각형을 이루고 압전으로 날개의 이동을 제어하여 직사각형의 개구부 크기와 위치를 정확하게 배치한다.이 제품은 대기, 고진공 및 초고진공 버전을 제공합니다.

제품 정보

광학 협봉(NRA) 는 4개의 독립적으로 제어되는 날개를 장착하여 서로 직사각형을 이루고 압전으로 날개의 이동을 제어하여 직사각형의 개구부 크기와 위치를 정확하게 배치한다.이 제품은 대기, 고진공 및 초고진공 버전을 제공합니다.

NRA-10-10은

NRA-10-10은광학 협봉독립적으로 제어되는 네 개의 날개는 서로 직사각형이며, 각 날개를 이동하여 직사각형 공경의 크기와 위치를 0-10mm로 정확하게 제어할 수 있다.

개관
최대 오픈 크기 [mm]	10x10의
폼 팩터 크기[mm]	63 × 63 × 19
무게[g]	160
定位性能
닫힌 루프 최대 속도 [mm/s]	>5
닫힌 루프 위치 해상도 [nm]	<2
단방향 반복 위치 정밀도 [nm]	±50
옵션
소재	알루미늄 베이스가 표준입니다.강철 받침대 (-ST), 티타늄 기반 (-TI) 옵션균일 흑색 양극 산화 (-BK)
진공 호환 (HV)	1E-6의 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10의 mbar
자기 없음	요구 사항에 따라 사용자 정의 가능

* 모든 기술 사양 매개 변수는 제품이 지속적으로 개발되고 있으므로 예고 없이 기술 사양을 변경할 수 있습니다.

NRA-20-20는

NRA-20-20 네 개의 독립적으로 제어되는 날개는 서로 직사각형이며, 각 날개를 이동하여 직사각형 공경의 크기와 위치를 0-20mm 범위로 정확하게 제어할 수 있다.

개관
최대 오픈 크기 [mm]	20x20
폼 팩터 크기[mm]	85 x 85 x 19의
무게[g]	270
定位性能
닫힌 루프 최대 속도 [mm/s]	>5
닫힌 루프 위치 해상도 [nm]	<2
단방향 반복 위치 정밀도 [nm]	±50
옵션
소재	알루미늄 베이스가 표준입니다.강철 받침대 (-ST), 티타늄 기반 (-TI) 옵션균일 흑색 양극 산화 (-BK)
진공 호환 (HV)	1E-6의 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10의 mbar
자기 없음	요구 사항에 따라 사용자 정의 가능

* 모든 기술 사양 매개 변수는 제품이 지속적으로 개발되고 있으므로 예고 없이 기술 사양을 변경할 수 있습니다.

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