HF-5-20의

협상 가능업데이트01/29

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제조업체의 성격: 생산자

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원산지 Place of Origin

온라인 상담

개요

개요 자유도 1 스트로크 [mm]20 리터 [N]5 초기 크기 [mm]80x25x61 무게 [g]275 포지셔닝 성능 개폐 루프 속도 [mm/s]2 개폐 루프 포지셔닝 해상도 [nm]폐쇄 루프 포지셔닝 해상도 [nm]2 개폐 루프 재배치 정밀도 [nm] 60 옵션 재료는 알루미늄 베이스 표준

제품 정보

개관
자유도	1
일정 [mm]	20
양력[N]	5
초기 크기 [mm]	80 x 25 x 61의
무게[g]	275
定位性能
개폐 루프 속도 [mm/s]	2
오픈 루프 위치 해상도 [nm]	<1
닫힌 루프 위치 해상도 [nm]	2
닫힌 루프 재배치 정밀도 [nm]	±60
옵션
소재	알루미늄 베이스가 표준입니다.강철 받침대 (-ST), 티타늄 기반 (-TI) 옵션균일 흑색 양극 산화 (-BK)
진공 호환 (HV)	1E-6의 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10의 mbar
자기 없음	요구 사항에 따라 사용자 정의 가능

* 모든 기술 사양 매개 변수는 제품이 지속적으로 개발되고 있으므로 예고 없이 기술 사양을 변경할 수 있습니다.