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상해시 포동신구 자유무역구 미약로 60호
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상해시 포동신구 자유무역구 미약로 60호
체이스 쌍빔 렌즈크로스크로스크크로스크크크로스크크크로스크크크로스크크로스크크크로스크크로스크램크로스크크크크로크로
[제품 소개]
체이스 쌍빔 렌즈크로스크로스크크로스크크크로스크크크로스크크크로스크크로스크크크로스크크로스크램크로스크크크크로크로,반도체 업계의 TEM 샘플 제조를 위해 특별히 개발된 초점 이온 빔 스캐닝 전자 현미경 (FIB-SEM) 으로서 우수한 유연성, 자동화 기능 및 사용자 친화적 설계를 제공하여 반도체 업계의 샘플 제조가 더욱 간편하고 효율적일 수 있도록 돕는다.
[제품 특징]
l 업계 표준 소프트웨어 인터페이스
l 최적화된 구성으로 장치 및 소프트웨어 안정성 향상
l 전자동TEM은샘플 제조 경험
l 제자리 (현장, 리프트 아웃) 및 비원위치(ex-situ, 픽업) 유연한 사용 가능
l 고품질의 자동 및 수동 샘플링
[응용 분야]
전자 및 반도체 산업, 실효 분석 및TEM은샘플 제조.
[응용 사례]


각각 전자동 비원위치(ex-situ, 픽업) 및 제자리 (현장, 리프트 아웃) 견본의 TEM은슬라이버 샘플

수동으로 최종 감축7nm프로세스 프로세서, 평면TEM은슬라이버
사용Crossbeam은내부STEM은탐지기 촬영