독일 체이스 Axio Imager Vario 광학 현미경

대형 샘플 검사 – 자동 초점 시스템 및 초정실 등급 요구 사항 충족

분석은 최소 MEMS 센서에서 초대형 XXL 웨이퍼 또는 심지어 전체 평면 현미기에 이르기까지 시료에 손상을 주지 않습니다.최대 300mm의 가로 이동 거리와 최대 254mm의 수직 깊이로 Axio Imager Vario에서 많은 샘플을 검사할 수 있습니다.일체형 기둥 설계로 안정성을 확보하였다.청정 실내 검출 웨이퍼 적용 – Axio Imager Vario는 DIN EN ISO 14644-1 표준 인증을 받았으며 청정 실내 레벨 5의 요구 사항을 충족합니다.Z축을 구동하는 전동모터와 자동초점하드웨어를 리용하여 자동적으로 더욱 좋은 초점위치로 조절되도록 확보해야 한다.

독일 체이스 Axio Imager Vario 광학 현미경특징:

두 가지 수동 및 한 가지 모터 기둥 (산업 표준에 맞는 세 가지 모드 제어 버튼 포함) 을 선택할 수 있으며 현미경의 최대 300mm 가로 및 세로 이동 거리 및 최대 254mm 수직 깊이의 이점을 최대한 활용할 수 있습니다.
Axio Imager Vario는 대물렌즈 회전판의 상하 이동을 통해 샘플에 초점을 맞출 수 있습니다.이것은 더 무거운 샘플이라도 높은 정밀도 초점 정밀도와 반복성을 얻을 수 있다는 것을 의미한다.
자동 포커스 하드웨어를 사용하면 명암비가 낮은 반사 샘플에 정확하고 빠르게 포커스할 수 있습니다.
Axio Imager Vario는 LSM 700과 함께 적용되어 민감한 샘플을 고해상도로 접촉 없이 분석합니다.
Axio Imager Vario는 DIN EN ISO 14644-1 표준 인증을 받았으며 클린룸 레벨 5를 충족합니다.

초정실:

반도체 제조와 웨이퍼 검사는 초정밀 실내에서 해야 한다.DIN EN ISO 14644-1 기준에 따라 입방미터당 입자 수와 크기로 등급을 나눈다.Axio Imager Vario는 UltraScale 애플리케이션에서 이 표준 인증을 받았으며 UltraScale 5 요구 사항을 충족합니다.초정실 ISO 5등급은 기존 FED STD 209E(1992) 기준의 100등급에 해당한다.초정실 키트에는 7공 물안경 회전판, 입자 보호 덮개, 재채기 방지 보호 덮개가 포함되어 있다.

독일 체이스 Axio Imager Vario 광학 현미경자동으로 하드웨어에 초점을 맞추려면:

Auto Focus 자동 포커스 하드웨어 시스템이 내장된 Axio Imager Vario는 최대 12000µm의 포커스 캡처 범위 내에서 빠르고 정확한 포커스를 구현합니다.산업 생산 및 연구의 검측 응용에서, 당신은 물경 경심의 0.3배에 도달할 수 있는 초점 정밀도의 고정밀 초점 시스템이 필요합니다.이 자동 집적 하드웨어는 반사광, 투사광, 명장, 암장, 편광, 미분 간섭 차이 및 사선 조명 관찰 방식의 응용에 적합하다.