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Z축 고정밀, 컴팩트형 선형 압전 세라믹 나노 포지셔닝 테이블

협상 가능업데이트05/06
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원산지 Place of Origin

개요

Z축 고정밀도, 컴팩트형 선형 압전 세라믹 나노 포지셔닝 데스크 NM-080 맞춤형 가격은 문의하시기 바랍니다

제품 정보

제품을 주문하고 가격은 고객센터에 연락하십시오.

제품 설명:
NM-080 컴팩트형 선형 나노 포지셔닝 데스크는 Z 방향으로 100 μm 이상의 스트로크를 제공합니다.
컴팩트한 설계를 통해 광자학 및 광섬유 포지셔닝 응용프로그램에 이상적인 도구가 될 수 있습니다.Z축 나노 포지셔닝 선형 변위대는 압전압 세라믹 구동에 기반한 선형 변위대이다.
이 시리즈 나노 변위대는 고신뢰성 다층 저압 전압 중첩 세라믹을 구동 부품으로 사용하며, 유한원 최적화의 집적 상태 긁힘 가이드 시스템을 이용하여 확보할 수 있다좋아의 평행 동작입니다.마찰이 없는 유연한 메커니즘을 사용하기 때문에 압전변위대는 유지보수, 마모가 필요 없으며 빠른 응답과 빠르고 안정적인 성능을 가지고 있어 고주파 오차 보상, 추적, 빠른 스텝 또는 연속 스캐닝과 같은 동적 과정에 적용할 수 있다.폐쇄 루프 버전은 고정밀도와 반복 가능한 움직임을 구현하고 압력을 보상하는 고해상도 변환식 위치 센서를 갖추고 있습니다.
전기 세라믹의 연변.센서는 전폐환 브리지로 설계되었다.열린 루프 또는 닫힌 루프 제어에서 실행할 수 있습니다.
압전 플랫폼 고정은 이동면과 바닥판의 나사 구멍을 통해 이루어진다.표준 격자선이 있는 옵티컬 플랫폼 또는 다른 구성 요소에 설치하려면 어댑터 보드 어댑터를 사용합니다.고정 과정에서 너무 큰 구부러진 하중과 이동면과 케이스 사이에 작용하는 측방향력을 피해야 하며, 이러한 외력은 변위대를 손상시킬 수 있다.

제품 매개 변수:

모델 NM-080은 NM-080S는 공차
동작 축 Z Z
통합 센서 SGS는
스레드 범위 (@0~+120V) 80μm 80μm ±5%
최대 여정 범위(@-20~+150V) 110μm 110μm ±20%
해상도 0.8nm 1.6nm 유형.
최소 이동 단계 3.0nm 3.0 nm 유형.
선형 오류 cha 0.02%~0.05% 유형.
반복 위치 정밀도 (전체 스트로크) 0.02% 유형.
각진 편차 (굽혀펴기 / 기울기 / 회전) 5μrad의 5μrad의 유형.
적재 능력 8N의 8N의 맥스
공명 주파수 (0g) 300Hz의 300 Hz ±20%
운동방향 강도 0.3N/μm 0.5N/μm ±20%
운동방향 추력/당김 30N/10N 30N /10N ±20%
구동 기구 압전 세라믹 압전 세라믹
작동 온도 범위 -20~+80℃ -20~+80 °℃ 유형.
케이블 길이 1.5m 1.5 m ±10mm
빈 치수
폼 팩터 (가로 × 세로 × 두께) 40 × 40 × 22mm 40 × 40 × 22mm
무게 100g 100g ±5%
PZT & Sensor 커넥터 LEMO는 LEMO는
본체 재질 강철, 알루미늄 강철, 알루미늄


참고: 모든 사양 매개 변수는 실온(22°C±3°C)을 기준으로 측정되며 자세한 내용은 문의하십시오.테이블에서 "-" 표현은 적용되지 않습니다.
1.꼬리말 "-S"는 폐쇄 루프이며 위치 센서가 내장되어 있습니다.선형 오차, 반복 데이터 없이 "-S" 를 사용하여 루프 끝을 엽니다.
2.최대 구동 전압은 -20V~+150V입니다.신뢰할 수 있는 장기 사용의 경우 구동 전압은 0.+120V를 권장합니다.더 큰 여정은 문의하십시오.출고는 여정을 공칭한다.
3. 해상도가 노이즈를 찾습니다.압전 세라믹 나노 포지셔닝 시스템은 마찰이 없기 때문에 시스템 해상도는 증폭기 소음과 측정 기술의 제한만 받는다.일반적으로 RMS(1σ) 값을 사용하여 측정하고 지정합니다.
4.간섭기를 통해 측정된 압전 플랫폼이 이동할 수 있는 최소 단계 값을 가리키며, 주로 압전 컨트롤러의 DAC 해상도에 의해 결정된다.최상의 경우 매개변수 테이블에서 16-Bit에 해당하는 변위 스텝 값입니다.
5. 축방향 하중, 더 높은 하중은 문의하시기 바랍니다. 공칭 하중을 초과하면 유연성 기구에 손상을 초래할 수 있습니다.
6. 긴 케이블 길이는 문의하십시오.
7.본체 무게는 케이블과 커넥터의 무게를 포함하지 않습니다.
8. 공차에서 Max. 는 최대값을 나타냅니다.typ. 는 표준 표준 데이터 값을 나타내며 테스트 보고서에 실제 측정 데이터 값이 표시됩니다.

제품 크기:

Z 轴高精度、紧凑型线性压电陶瓷纳米定位台