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대행정형 선형 압전 세라믹 나노 포지셔닝 테이블

협상 가능업데이트05/06
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개요

큰 여정형 선형 압전 세라믹 나노 포지셔닝 데스크 NM-200 맞춤형 가격은 연락 주세요

제품 정보

제품 가격을 정하려면 고객센터에 연락하십시오.

제품 설명:

NM-200 컴팩트형 선형 나노 포지셔닝 데스크는 Z 방향을 따라 200 μm 여정의 움직임을 제공합니다.컴팩트한 설계를 통해 광자학 및 광섬유 포지셔닝 응용프로그램에 이상적인 도구가 될 수 있습니다.Z축 나노 포지셔닝 선형 변위대는 압전압 전기 세라믹에 기반한 선형 변위대로, 고체 커브와 평행 구조로 인해 이러한 압전 플랫폼은 기계적 간격 없이 X와 Z 방향으로 이동할 수 있다.기계 또는 전기 기계 시스템보다 높은 해상도를 제공합니다.

NM-200 시리즈 변위대는 XY 및 압전 편전 회전 시스템과 쉽게 결합하여 모든 자유도의 위치를 제공합니다.폐쇄 루프 버전은 고해상도 응변 필름식 위치 센서를 갖추고 있어 고정밀도와 반복 가능한 운동을 실현할 수 있으며 압전 세라믹의 연변도 보상할 수 있다.센서는 전폐환 브리지로 설계되었다.열린 루프 또는 닫힌 루프 제어에서 실행할 수 있습니다.
NM-200은 반사경과 레이저 다이오드와 같은 작은 부품의 나노급 정밀 위치, 특히 장기적인 안정성이 필요한 응용에 매우 적합하다.

제품 매개 변수:

모델 NM-200은 NM-200S는 공차
동작 축 Z Z
통합 센서 SGS는
스레드 범위 (@0~+120V) 200μm 200μm ±10%
최대 여정 범위(@-20~+150V) 240μm 240μm ±20%
해상도 1.8nm 3.6nm 유형.
최소 이동 단계 7.0nm 7.0nm 유형.
선형 오류 cha 0.02%~0.05% 유형.
반복 위치 정밀도 (전체 스트로크) 0.05% 유형.
각진 편차 (굽혀펴기 / 기울기 / 회전) 10μrad의 10μrad의 유형.
적재 능력 5N의 5N의 맥스
공명 주파수 (0g) 420Hz의 420 Hz의 ±20%
운동방향 강도 0.5N/μm 0.5N/μm ±20%
운동방향 추력/당김 30N/10N 30N /10N ±20%
구동 기구 압전 세라믹 압전 세라믹
작동 온도 범위 -20~+80℃ -20~+80 °℃ 유형.
케이블 길이 1.5m 1.5 m ±10mm
빈 치수
폼 팩터 (가로 × 세로 × 두께) 54 × 54 × 25mm 54 × 54 × 25mm
무게 95g 95g ±5%
PZT & Sensor 커넥터 LEMO는 LEMO는
본체 재질 강철, 알루미늄 강철, 알루미늄
참고: 모든 사양 매개 변수는 실온(22°C±3°C)을 기준으로 측정되며 자세한 내용은 문의하십시오.테이블에서 "-" 표현은 적용되지 않습니다.
1.꼬리말 "-S"는 폐쇄 루프이며 위치 센서가 내장되어 있습니다.선형 오차, 반복 데이터 없이 "S" 를 사용하여 루프 끝을 엽니다.
2.최대 구동 전압은 -20V~+150V입니다.신뢰할 수 있는 장기 사용의 경우 구동 전압은 0...+120V를 권장합니다.더 큰 여정은 문의하십시오.출고는 여정을 공칭한다.
3. 해상도가 노이즈를 찾습니다.압전 세라믹 나노 포지셔닝 시스템은 마찰이 없기 때문에 시스템 해상도는 증폭기 소음과 측정 기술의 제한만 받는다.일반적으로 RMS(1σ) 값을 사용하여 측정 및 지정
4.간섭기를 통해 측정된 압전 플랫폼이 이동할 수 있는 최소 단계 값을 가리키며, 주로 압전 컨트롤러의 DAC 해상도에 의해 결정된다.최상의 경우 매개변수 테이블에서 16-Bit에 해당하는 변위 스텝 값입니다.
5. 축방향 하중, 더 높은 하중은 문의하시기 바랍니다. 공칭 하중을 초과하면 유연성 기구에 손상을 초래할 수 있습니다.
6. 긴 케이블 길이는 문의하십시오.
7.본체 무게는 케이블과 커넥터의 무게를 포함하지 않습니다.
8. 공차에서 Max. 는 최대값을 나타냅니다.typ. 는 표준 표준 데이터 값을 나타내며 테스트 보고서에 실제 측정 데이터 값이 표시됩니다.

제품 크기:

大行程型线性压电陶瓷纳米定位台