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주소
상해시 포동신구 상과로 298호 4층
제품 카테고리
쑤저우시식과학기술유한공사
개요
시식과학기술 NS-30UV는 쑤저우시식과학기술유한공사가 생산한 국산 백광간섭막 두께 측정기로서 KLA 백광간섭막 두께계를 대체할 수 있으며 광학간섭원리를 채용하여 나노미터에서 마이크로미터급 박막 두께의 비접촉 측정을 실현할 수 있다.
제품 정보
NS-30UV 박막막두께측정기는 쑤저우시식과학기술유한공사가 생산한 국산 백광간섭막두께측정기로서 광학간섭원리를 채용하여 나노미터에서 마이크로미터급 박막두께의 비접촉측정을 실현한다.
1. 기술매개변수:
1. NS-30UV 코어 매개변수
- 파장 범위: 190-1700nm
- 측정 범위: 1nm - 250μm
- 측정 정밀도: 1nm 또는 0.2%
- 반복 정밀도: 0.02nm
- 측정 시간: 1초 미만
- 안정성: 0.05nm
- 반점 크기: 0.5mm
2. 동일 시리즈 모델 사양
2. 작업 원리
NS-30은 고안정 광대역 빛을 수직으로 입사하는 광학 간섭 원리로 나노-마이크로미터급 투명 또는 반투명 막층 두께, 반사율 및 굴절률 측정을 실현한다.수직으로 입사된 고안정 광대역 광이 샘플 표면에 입사되어 각 막층 사이에 광학 간섭 현상이 발생하며, 반사광은 스펙트럼 분석 및 회귀 알고리즘을 통해 박막 각 층의 두께를 계산할 수 있다.
3. 제품 특징
1. 핵심 장점:
- 소프트 하드웨어 국산화: 100% 국산 자체 연구, 100% 자체 제어 가능
- 비접촉 측정: 경질 재료, 연질 재료 또는 표면이 손상되기 쉬운 시료 측정 가능
- 고정밀 높은 안정성: 나노미터급 두께 측정 정밀도, 정적 안정성 최대 0.02나노미터
- 다층막 측정능력: 다층복합박막 각 층의 두께를 측정할 수 있음
- 지능화 알고리즘: 핵심 알고리즘, 원클릭 측정 대경간 필름 두께
2. 기능 특징:
- 샘플 자동 측정, 플랫폼 크기 100mm~450mm 옵션
- 소프트웨어가 필요에 따라 측정 포인트 분포를 자동으로 생성
- 두께/굴절/반사율과 같은 정보를 포함하는 2D 및 3D 측정 효과
- 박막 응력과 표면 굴곡 측정 가능(Stress/Bow)
- 측정 속도: 5개 점-5초(200mm 웨이퍼), 25개 점-14초
실측 결과 전시
4. 응용분야
1. NS-30 박막두께측정기는 여러 첨단과학기술분야에 널리 응용되고있다.
- 반도체 제조: 침적/식각 박막 두께 측정, CMP 공정 표면 평평도 측정, 식각 방지제 계단 높이 분석
- 태양광 및 디스플레이 패널: 태양광 코팅막 두께, AMOLED 스크린 마이크로구조, 터치 패널 구리 흔적선 측정
- 광학 도금: AR 반사 방지층, AG 눈부심 방지 코팅, 필터, 안경 등 광학 소자의 막 두께 측정
- 전자 및 재료 과학: 반도체 칩, LCD 등 부품의 박막 두께 측정, 재료 표면 응력 분석
- 생의학: Parylene 파이렐린, 폴리머, 생체막, 의료장비 등 박막 재료의 두께 측정
2. 유지보수:
- 기계의 청결을 유지하고 비시험시간에 방진포를 덮는다
- 전자기장이 기기의 작동을 방해하지 않음
- 정기적인 교정 및 유지 관리
NS-30 시리즈는 데스크톱식 자동 필름 두께 측정 분석 시스템으로서 필름 두께 측정을 바탕으로 자동 샘플링 로드를 반복하여 설정된 지점을 자동으로 측정하고 2D와 3D의 자료 분포도를 추가로 생성할 수 있으며, 특히 웨이퍼 필름 두께 측정 등 정밀 응용 장면에 적합하다.
