XYZ 모듈식 변온 프로브

HCP421V-MPS Instec의 진공형 mini 데스크탑 프로브대 시리즈는 외부에서 프로브를 이동하여 점침을 할 수 있는 책상형 프로브대로 다모델, 다온도 범위를 포괄한다.동시에 온도 제어, 탐침 전기 테스트, 광학 관찰 및 샘플 가스 환경 제어를 허용합니다.탐침대 위 덮개와 하각은 진공을 뽑을 수 있는 밀폐강을 구성하며, 질소 등 보호기체를 안에 충전하여 샘플이 음온에서 서리가 내리거나 고온에서 산화하는 것을 방지할 수 있다.

XYZ 모듈식 변온 프로브기능 특징

mimi형 온도 제어 프로브대, 각종 광학 설비에 집적할 수 있다

프로그래밍 가능한 온도 조절, -190 ℃ ~ 400 ℃

10mm~26mm 웨이퍼 및 부품 적용

진공 을 뽑을 수 있는 강체 를 보호 기체 에 충전하여 사용할 수도 있다

독립적인 4개의 프로브로 장치 외부에서 프로브로 점침을 이동할 수 있습니다.

자유로운 조합을 위한 모듈식 설계

* 8개의 독립형 프로브로 업그레이드 가능

온도 조절기 또는 컴퓨터 소프트웨어에서 제어할 수 있으며 소프트웨어 SDK 제공

SMA 커넥터-BNC 쿼드 프로브, 수동 점침

XYZ 모듈식변온 탐침대 온도 제어 파라미터

온도 범위 -190 ℃ ~ 400 ℃ (음온은 액체 질소 냉각을 배합해야 한다)

가열 블록 재질 은

센서 / 온도 제어 방식

최대 온도 상승 속도 100º 플래티넘 RTD/PID 제어(LVDC 노이즈 감소 전원 공급 장치 포함)

30℃/분

최소 온도 제어 속도 ±0.01℃/min

온도 해상도 0.01℃ RTD 센서

온도 안정성 ±0.05℃(>25℃), ±0.1℃(<25℃)

소프트웨어 기능은 온도 제어 속도를 설정할 수 있고, 온도 제어 프로그램을 설정할 수 있으며, 온도 제어 곡선을 기록할 수 있다

전기학 파라미터

프로브 기본값은 텅스텐 재질의 커브 프로브

외부 XYZ에서 프로브 시트를 이동할 수 있는 프로브 암

점침은 외부에서 점침을 이동하며, 각 탐침 받침대는 샘플 영역의 임의의 위치에 점침할 수 있다

프로브 인터페이스는 기본적으로 SMA 커넥터에서 BNC로 변환됩니다.

* 캐비티 내 배선 기둥 추가 가능 (샘플 접전 지시선)

샘플 테이블 전위는 기본적으로 전기 접지이며, 전기 서스펜션 (백전극) 을 선택할 수 있고, 삼동축 인터페이스를 선택할 수 있다

광학 파라미터

적용 광로 반사 광로

분리 및 교체가 가능한 창 조각

최소 대물렌즈 작동 거리 8/12mm(옵션) * 단면도에서 WD

상부 덮개 창 조각 관찰 창 조각 범위45mm, 최대 시야각 ± 50 ° * 단면도 중 × 1

음온 하창 조각 서리 제거 드라이 서리 제거 파이프

구조 매개변수

적용 샘플 26mm 지름(표준)

샘플 캐비티 높이 4/8mm(옵션)

외부 XYZ에서 프로브 시트를 이동할 수 있는 프로브 암

굵게 조절 모드 + 미세 조절 모드, XY 굵게 조절 20mm

XY 미세 조정 스트로크 10mm, Z 미세 조정 3mm

조절 정밀도 10um

분위기 제어 진공 챔버, 보호 가스도 충전

케이스 냉각 기능은 상온에서 케이스 온도를 유지하기 위해 물을 순환시킵니다.

본체 크기/무게 300mm x 300mm x 40mm/4kg

구성 목록

기본 구성 진공형 데스크탑 프로브, mK2000B 온도 조절기

옵션 액세서리 장착 브래킷, 액체 질소 냉각 시스템, 케이스 순환 수냉 시스템, 현미경 렌즈, 방진 테이블, 진공 시스템, 테스트 소스, 삼동축 BNC, 테이블 전기 서스펜션, 샘플 접전 지시선

일반적인 어플리케이션

표징 박막, 2차원 재료, 나노 재료 및 분자/유기 재료 부품의 전기 성능 테스트

가열 블록 표면 전기 접지, 접동축 BNC 인터페이스, 삼동축 BNC 인터페이스가 필요한

텅스텐 프로브, 베릴륨 구리 프로브 또는 기타 재료가 필요한 프로브의

외부에서 테이블 내부 프로브를 XYZ로 이동해야 하는

웨이퍼, 반도체 부품, 집적회로, 인쇄회로기판, 태양광 패널, LCD/LED 테스트

IV 및 CV 특성, 뚫기 전압, 누전 전류, 저항, 개전 상수 및 다이오드 효율 측정

HCP402V-MPS 온도 범위 기타 옵션 모델

TP102V-MPS 온도 범위 -40℃~180℃, 샘플 영역, 40mm*40mm

HCP421V-MPS 온도 범위 -190 ℃~400 ℃, 샘플 영역

Φ26mm-190 ℃~400 ℃, 샘플 영역 50mm*50mm

HP1000G-MPS 온도 범위 35 ℃~1000 ℃, 샘플 영역 25mm*25mm, 기밀 챔버

고객 요구 사항에 따라 맞춤형 모델, 최대 300mm 웨이퍼 샘플