엑스선 회절 영상 시스템

심초석은 중국과학원 박사후과정팀의 두터운 기술축적에 의거하여 다년간의 난관돌파를 거쳐 전문적으로 생산감시통제를 위해 설계한 웨이퍼 X선 연사영상기 (XRT) 를 성공적으로 연구개발하였다.

엑스선 회절 영상 시스템미국계 일본계 국제경쟁품에 비해 심초석 XRT는 핵심부품의 자주적인 통제를 실현했다.이는 저렴한 가격을 의미할 뿐만 아니라 기업의 도입 비용을 크게 낮출 뿐만 아니라 국제 공급망 변동에 영향을 받지 않고 납품 주기를 3~6개월로 단축한다는 것을 의미한다.

이 설비는 고정밀 X선 기술을 이용하여 무손실 투시 재료 내부 격자 구조를 이용하여 단결정/탄화규소/질화갈륨 등 다양한 재질의 나체 결정 내부 결함을 오프라인/전자동 측정할 수 있으며, 내부 미세 균열/비트 오류/혼합물/마이크로파이프/침전물/슬라이딩/더미 층 오류/표면 스크래치/아결정 입자 등의 결함을 검사할 수 있으며, 자체 알고리즘을 가지고 있어 비표준 서비스를 제공할 수 있다.

엑스선 회절 영상 시스템주요 관심사 테스트

XRT를 통해 단결정 실리콘 내부의 결함 여부를 검사합니다.

테스트 시나리오

샘플을 엑스레이 스캔하여 샘플 그림과 상세 데이터 인민폐를 얻어 엑스레이 그림을 분석하여 결함 여부를 구분한다.