파장 분산 X선 형광 분광기

파장 분산 X선 형광 분광기 WDA-3650박막 평가에 사용되며, 동시에 각종 박막의 박막 두께와 성분에 대해 무손상, 비접촉식 분석을 진행한다.

이는 파장 색산 X 형광 분광기(WD-XRF)로, 크기가 2천0mm에 달하는 웨이퍼에 있는 각종 박막의 두께와 구성을 비파괴·비접촉 방식으로 동시에 분석할 수 있다.XY × Z 구동 시료대 (방법) 는 각종 금속막을 정확하게 분석하여 연사선의 영향을 피할 수 있다.4kW 고출력 X선 튜브는 BPSG 박막의 흔적 원소 측정 및 붕소 분석과 같은 초경량 원소의 고정밀 분석을 구현합니다.C-to-C 운송 로봇(옵션)도 지원한다.자동 보정 (전자동 일일 검사 및 강도 보정 기능) 을 제공합니다.

◆ 미량원소의 농도와 성분 분석 지원

가벼운 요소에서 무거운 요소에 이르는 다양한 요소: 4 예 ~ 92U

◆고감도 붕소 검출기 AD-붕소

우리는 분석의 정확성과 안정성을 높이기 위해 붕소 분석 능력을 향상시키는 것과 같은 새로운 광학 시스템을 지속적으로 개발합니다.이밖에 랭온기구와 진공도안정기구는 안정적인 표준설비이다.

◆X-Y-× 구동급

X-Y-× 구동 시료대와 측정 방향 설정 프로그램은 전체 웨이퍼에서 박막 두께와 성분 분포를 정확하게 측정할 수 있다.철전 박막도 연사 광속의 영향을 받지 않는다.

◆적용:

・반도체 부품 BPSG, SiO2 쿼드 3N4

・폴리실리콘 혼합(B,P,N,AS),Wsix

・알-Cu, TiW, TiN, TaN, PZT, BST, SBT

・MRAM

・金属膜W, Mo, Ti, Co, Ni, 알, Cu, Ir, Pt, Ru

・磁盘CoCrTa, CoCrPt, DLC

・NiP

・디스크 Tb-FeCo

・헤드 GMR, TMR

◆광범위한 고정 각도 측정기 제품 라인업

우리는 막의 두께와 막 구조에 근거하여 가장 적합한 고정 각도계를 제공한다.실리콘 웨이퍼에 있는 Wsix 박막을 분석할 수 있는 전용 광학 시스템도 준비하고 있다.

◆자동 자동 일상 관리 기능 자동 조정

정확한 분석 값을 얻기 위해서는 반드시 계기를 정확하게 교정해야 한다.이를 위해서는 정기적으로 측정 검사 웨이퍼와 PHA 조정 웨이퍼를 관리 웨이퍼로 사용하여 장비의 건강 상태를 유지해야합니다.이러한 일반적인 교정 작업은 자동화되어 운영자의 작업량을 감소시킵니다.이것이 AutoCal 기능입니다.

◆C-to-C 자동 전송과 호환

개방형 다크 박스 외에도 SMIF POD가 지원됩니다.200mm 이하의 웨이퍼와 호환됩니다.또한 호스트와 SECS 통신이 가능하며 다양한 CIM/FA 형식을 지원합니다.

◆에너지 효율적인 설계

호스트 설치 면적 1m2 아래의 컴팩트한 설계.무유변압기의 사용도 보조설비를 더욱 치밀하고 에너지절약설계로 만들었다.

• 박막의 두께와 성분을 동시에 평가하다

• 모든 필름 유형에 적용

• 200mm 미만의 웨이퍼 및 미디어 디스크 지원

• 높은 분석 성능, 정확성 및 안정성

• 정확한 XRF 결과를 얻을 수 있는 XY × Z 구동 샘플대

• 고감도 붕소 분석(AD 붕소 채널 포함)

• 옵션인 C-C 자동 로더를 사용하여 자동 교정

• 무유변압기 X선 발생기

• 이전 모델보다 23% 낮은 전력 소비량

제품 사양: