웨이퍼 이송

웨이퍼 이송대응은 저렴한 사후 점검을 위해 FOUP(로더) 및 FOSB를 사용할 수 있습니다.인체공학적으로 안전하고 설계된 설계는 얇은 웨이퍼 및 변형 웨이퍼를 포함하여 웨이퍼를 운반할 때 작업자의 효율성과 안전을 보장합니다.

인간공학적 설계로 조작이 편리하다

• 자유롭게 설치할 수 있는 점검 모드로 설계상 후도 공정에서의 조작성을 고려하였으며, 설비의 조작 간편성을 특히 중시한다.

• FOUP(Load Port) 및 FOSB에 해당하는 두 모델.

웨이퍼 이송견고성, 신뢰성 및 안전한 전송

• 300mm 웨이퍼를 안전하고 안정적으로 전송할 수 있도록 이전 세대 모델의 견고성, 신뢰성 및 보안을 유지합니다.

• 슬라이버, Warped 웨이퍼는 안전하게 운반할 수 있습니다.

• 매크로 관찰 위치의 *화 및 운영 단위의 중앙 집중식 배열로 장치의 작동 편의성이 향상됩니다.

이물질, 상처, 필름 반점, 산초 발견에 이상적인 조명 방식을 제공하였다.

고휘도 금속 할로겐화물 광원과 광섬유 조명의 조합은 300mm 웨이퍼의 냉광원을 전면적으로 비춘다.